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近年來(lái),各種工業(yè)生產(chǎn)規(guī)模的玻璃基片大平面磁控濺射生產(chǎn)線發(fā)展迅速,令人關(guān)注。本文針對(duì)這一領(lǐng)域,就主要膜系開(kāi)發(fā)、設(shè)備結(jié)構(gòu)、工藝、存在的問(wèn)題及最新發(fā)展做了簡(jiǎn)單的歸納和介紹。
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