格式：pdf
大?。?span class="single-tag-height">1.3MB
頁數(shù)： 4頁
MEMS器件、保護(hù)電路、空間太陽電池等的制作需要使用硅雙面拋光片,并且要求拋光片的厚度很薄,傳統(tǒng)的硅拋光片加工工藝已經(jīng)不能滿足這一要求。介紹了一種用于超薄硅單晶雙面拋光片加工的拋光工藝方法。通過對硅片拋光機(jī)理[1]、拋光方式、拋光工藝的研究和對拋光工藝試驗結(jié)果的分析,解決了超薄硅單晶雙面拋光片在加工過程中碎片率高、拋光片背面表面質(zhì)量不易控制的技術(shù)難題,研制出了高質(zhì)量的超薄硅單晶雙面拋光片。
熱門知識
百葉輪拋光片-
話題： 工程造價sunlin891015
-
話題： 工程造價fuchengqwe
-
-
話題： 工程造價fireice0712
-
話題： 地產(chǎn)家居shangyong
精華知識
百葉輪拋光片-
-
-
話題： 地產(chǎn)家居0412LXD
-
最新知識
百葉輪拋光片-
-
話題： 室內(nèi)設(shè)計賀海軍
-
話題： 地產(chǎn)家居bj-web
相關(guān)問答
百葉輪拋光片-
-
-
話題： 工程造價jyangel119
-
話題： 室內(nèi)設(shè)計hzy887
-
話題： 地產(chǎn)家居liyoufangx
百葉輪拋光片相關(guān)專題
- 中空百葉玻璃有哪些好處
- 中空高格百葉怎么套定額
- 自垂百葉風(fēng)口需要墻
- 遮陽百葉的面積應(yīng)如何計算
- 金屬百葉窗套什么定額
- 雨棚百葉多少一個平方
- 云南省百葉窗怎么套子目
- 鋅鋼百葉窗是焊接還是組裝
- 鋼百葉窗定額問題
- 天津鋁合金百葉窗價格多少
- 基于壓電堆驅(qū)動器的噴嘴擋板式氣體控制閥
- 電氣工程及其自動化特色專業(yè)建設(shè)探索
- 分形DGS單元結(jié)構(gòu)設(shè)計及其在微帶電路中的應(yīng)用
- 磷銨技術(shù)改造五大磷肥工程的建議
- 以大豆油多元醇制備的硬質(zhì)聚氨酯泡沫塑料的性能
- 逆變TIG焊機(jī)接觸引弧電路的設(shè)計(引弧電路)
- 預(yù)制砌塊(磚、石)擋土墻工程砌體施工安全技術(shù)交底
- 應(yīng)用模糊數(shù)學(xué)理論對公路工程建設(shè)項目方案的綜合評價
- 引嫩工程擴(kuò)建區(qū)土壤水鹽動態(tài)與防治土壤鹽堿措施
- 中華華丹雨、污水管道溝槽開挖專項施工方案教學(xué)教材
- 中國工程圖學(xué)學(xué)會成立工程與制造系統(tǒng)集成化分會
- 中國吹制玻璃行業(yè)市場前景分析預(yù)測年度報告(目錄)
- 可替代現(xiàn)有隔熱保溫材料的新型材料
- 醫(yī)院病房樓工程施工裝飾裝修工程施工控制
- 在生活中構(gòu)筑自然——河南天旺園林工程有限公司剪影
- 中國機(jī)械工程學(xué)會授予材料熱處理工程師資格人員名單
- 中國電力井蓋行業(yè)市場前景分析預(yù)測年度報告(目錄)