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超純水系統(tǒng)工藝及其施工 半 導(dǎo)體技術(shù)天地 i i \'m$t g v(I . 半導(dǎo)體技術(shù)天地 %m Q4A&W G o!h N v E 一、 超純水系統(tǒng)總體介紹 半導(dǎo)體 ,芯片 ,集成電路 ,設(shè)計(jì) ,版圖 ,晶圓 ,制造 ,工藝 ,制程 ,封裝 ,測(cè) 試 ,wafer,chip,ic,design,eda,fabrication,process,layout,package,test,FA,RA,QA, photo,etch,implant,diffustion,lithography,fab,fabl 隨著電子工業(yè)的發(fā)展，在芯片的生產(chǎn)加工過(guò)程中，對(duì)于水質(zhì)的要求也越來(lái)越高。為了保 證生產(chǎn)出超大規(guī)模的集成電路，除高純?cè)牧?、高純氣體、高純化學(xué)藥品外，高純水也是 其中最關(guān)鍵的因素之一。高純水系統(tǒng)是將一般的市政用水處理成對(duì)不同離子的含量和顆粒 度都有很高要求的超純水。 超純水系統(tǒng)總體來(lái)說(shuō)一
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1 方 案 書(shū) 目 錄 企 業(yè) 簡(jiǎn) 介 .................................................... 業(yè) 務(wù) 范 圍 .................................................... 設(shè) 計(jì) 總 則 .................................................... 第一章 項(xiàng)目概況 ............................................... 第二章 技術(shù)規(guī)范要求 ........................................... 第三章 工藝系統(tǒng)說(shuō)明 ........................................... 第四章 設(shè)備技術(shù)參數(shù)及詳細(xì)清單 ........
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