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對礦井井壁變形引起的水平位移進(jìn)行測量,采用基于電容數(shù)字轉(zhuǎn)換器(CDC)技術(shù)的芯片AD7745進(jìn)行電容測量,設(shè)計了能夠?qū)λ轿灰七M(jìn)行非接觸測量的電容式傳感器和測量電極的結(jié)構(gòu),硬件上采用外殼屏蔽等措施提高抗干擾能力,軟件上通過對AD7745內(nèi)部可編程寄存器的合理設(shè)置實現(xiàn)高精度測量。實驗結(jié)果表明:該傳感器在量程為±10mm時,可達(dá)到0.1mm的測量精度。