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利用微加工技術(shù),在SOI上制作出了高Q值的光子晶體微腔,Q值可以達(dá)7×10~4以上,為后續(xù)的光與物質(zhì)相互作用和量子信息方面的實(shí)驗(yàn)奠定了基礎(chǔ).實(shí)驗(yàn)結(jié)果與理論模擬符合得較好.通過三維時(shí)域有限差分法模擬,得到光子晶體微腔的Q值為1.2×10~5左右.
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