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提出了一種利用系統(tǒng)共振原理的壓電共振型隔膜氣泵。分析了共振泵的工作原理,建立了共振泵的動力學模型,通過計算獲得影響共振泵輸出流量的主要因素。設計了共振泵樣機,使用激光測微儀測得隔膜片的放大位移約是同一支撐條件下的壓電振子位移的5.3倍,設計了測量共振泵輸出流量的實驗裝置。通過實驗測試得到在不同的振動彈簧剛度、調(diào)整彈簧片剛度和隔膜片剛度下輸出流量及其相應的變化規(guī)律。實驗測試表明:在輸入電壓為150 V、振動彈簧片厚度為0.6 mm、調(diào)整彈簧片厚度為1.4 mm、剛性傳振活塞與隔膜片半徑比為0.5和共振頻率為230 Hz時,輸出流量可以達到1 650 mL/min。