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動、靜渦旋盤之間的泄漏是影響渦旋真空泵抽氣性能的重要因素,分析了主要由軸向間隙及徑向間隙引起的氣體返流泄漏,闡述了相應的密封原理及措施,為渦旋真空泵的優(yōu)化設計提供新的思路。
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