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磁控濺射真空鍍膜技術(shù)與傳統(tǒng)的化學(xué)電鍍技術(shù)相比,具有環(huán)保、降耗、減排等優(yōu)點(diǎn),磁控電源是這種鍍膜裝置的關(guān)鍵部件之一。該文研究和設(shè)計了以高頻開關(guān)電源技術(shù)為基礎(chǔ)的高效率、大功率磁控穩(wěn)壓電源。文中介紹了主電路、控制電路的原理設(shè)計,用Matlab仿真軟件搭建了電路模型,并進(jìn)行了仿真實驗,在此基礎(chǔ)上完成了硬件電路、軟件程序設(shè)計。通過AT89C51單片機(jī)實現(xiàn)了在不同工作方式下電源輸出電壓和電流的調(diào)節(jié)。實際應(yīng)用證明該電源具有恒流控制效果好,可靠性高,工作穩(wěn)定等優(yōu)點(diǎn)。
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