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在Si襯底GaN基藍光LED芯片上生長了一層SiON鈍化膜,使器件的光輸出功率提高12%且有效降低了器件在老化過程中的光衰。對有、無鈍化膜的樣品進行性能比較,結(jié)果表明SiON鈍化膜能有效隔離環(huán)氧樹脂與高溫芯片,緩解環(huán)氧樹脂的老化變黃;又能部分弛豫環(huán)氧樹脂對芯片的張應(yīng)力,降低非輻射復(fù)合中心產(chǎn)生的幾率;有效減小器件的側(cè)壁漏電通道,降低器件的光衰和漏電流,提高器件的可靠性。
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