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針對傳統(tǒng)的觸針式輪廓儀杠桿式測量桿的轉(zhuǎn)動支點由于滾動體跳動容易引入隨機誤差的問題,提出并設(shè)計了一種基于彈性變形理論的輪廓儀測量桿。利用高精度電容傳感器測量測量桿的彈性變形量,然后利用懸臂梁的撓曲線公式求出觸針針尖的位移量從而得到待測面的微觀不平度信息,消除了杠桿式測量桿引入的隨機誤差,進一步提高了粗糙度測量精度。
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采用表面輪廓儀測定了光纖和濕法刻蝕加工的單模與多模光纖端面粗糙度,并與光學(xué)顯微鏡檢測的結(jié)果進行了對比。結(jié)果表明:表面輪廓儀表適合檢測光纖端面及刻蝕加工后的三維特征,反映濕法刻蝕加工光纖端面的刻蝕深度和微腔形貌。
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