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更新時(shí)間：2024.12.28
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本專利所涉及制造的是一種用于真空壓力測(cè)量與控制的儀器儀表。它是檢測(cè)真空壓力的理想儀表，由于運(yùn)用了電容量變化的原理，采用了可變電容結(jié)構(gòu)，成功地制造出了一種結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、成本較低、工作特性穩(wěn)定、過(guò)壓能力強(qiáng)、測(cè)量精度和靈敏度高、耐蝕性強(qiáng)和長(zhǎng)期穩(wěn)定性好的真空壓力測(cè)控儀表——電容式薄膜真空計(jì)。它已廣泛地運(yùn)用于核工業(yè)領(lǐng)域內(nèi)的鈾濃縮、太陽(yáng)能和電子工業(yè)領(lǐng)域的單晶硅和多晶硅的提煉、航天領(lǐng)域、真空冶煉、電光源制造、生物制藥、石油化工以及實(shí)驗(yàn)室等。
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本專利所涉及制造的是一種用于真空壓力測(cè)量與控制的儀器儀表。它是檢測(cè)真空壓力的理想儀表，由于運(yùn)用了電容量變化的原理，采用了可變電容結(jié)構(gòu)，成功地制造出了一種結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，成本較低，工作特性穩(wěn)定，過(guò)壓能力強(qiáng)，測(cè)量精度和靈敏度高，耐蝕性強(qiáng)，長(zhǎng)期穩(wěn)定性好的真空壓力測(cè)控儀表——電容式薄膜真空計(jì)。
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