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1 5.1.1技術(shù)要求 2.冷卻系統(tǒng)額定冷卻容量: 15kW 3.額定冷卻流量 : 2.2 t/h 4.額定去離子流量 : 無(wú) 5.冷卻水電阻率值 : ≤100μs/cm 6.去離子水電阻率: 無(wú) 7.進(jìn)閥水溫度 : ≤40℃ 8.出閥水溫度 : ≤47℃ 9.冷卻水進(jìn)閥壓力 : ≥4.0bar 10.水冷裝置設(shè)計(jì)壓力 : 0.6MPa 11.水冷裝置測(cè)試壓力 : 0.8MPa 12.主循環(huán)過(guò)濾精度 : 200 μm 13.去離子回路過(guò)濾精度 : 無(wú) 14.冷卻介質(zhì) : 純水+乙二醇 15.裝機(jī)電容量 : 3kW 5.1.2選型說(shuō)明 主循環(huán)水泵 : 一備一用 CHI2-60 二次散熱方式 : 水風(fēng)換熱器一套 電加熱器:功率見(jiàn)主要設(shè)備一覽表 控制器 : PLC S7-200 系列,一套 人機(jī)界面 : TD200 ,一臺(tái) 報(bào)警要求
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