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裝飾畫這種藝術(shù)表現(xiàn)形式在當(dāng)今社會中與人們的生活聯(lián)系越來越密切了,從賓館酒店到繁華的商業(yè)區(qū)、從工作地點(diǎn)到溫馨的小家,幾乎在人們出現(xiàn)的場所都會有它的存在,它點(diǎn)綴著人們的生活,豐富著人們的文化精神層面。木刻版畫,從中國新興木版畫開始發(fā)展到現(xiàn)在,經(jīng)歷了由宣傳為主到純藝術(shù)表現(xiàn)性的轉(zhuǎn)變。在西方,木版畫也從單純的木版面形式轉(zhuǎn)變?yōu)槎喟娣N材料制作。對于裝飾畫而言,它的表現(xiàn)形式和制作材料也是極為豐富的,本文將
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研究應(yīng)用O2反應(yīng)離子刻蝕(RIE)直接深刻蝕商用有機(jī)玻璃(PMMA)片,以實(shí)現(xiàn)微結(jié)構(gòu)的三維微加工,工藝簡單,加工成本較低,為微器件的高深寬比加工提出了新方法。試樣采用Ni作掩膜,以普通的光刻膠曝光技術(shù)和濕法刻蝕法將Ni掩膜圖形化。工作氣壓、刻蝕功率等工藝參數(shù)對刻蝕速率影響較大。在刻蝕過程中,掩膜上的金屬粒子會被刻蝕氣體離子轟擊而濺射散落出來,形成微掩膜效應(yīng)。利用這種RIE技術(shù),在適當(dāng)?shù)臑R射功率及氣壓下,刻蝕速率較快,且獲得了較陡直的微結(jié)構(gòu)圖形,刻蝕深度達(dá)120μm。
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