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更新時間：2025.01.05
重量載荷對片層質(zhì)量檢測系統(tǒng)精度影響研究

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基于虛擬切片三維數(shù)字化無損測量方法具有測量精度高、成本低、數(shù)據(jù)測量與處理快、可測量物體內(nèi)部輪廓等特點,由于測量質(zhì)量精度高,其測量裝置中精密片層質(zhì)量檢測系統(tǒng)精度是研究的關(guān)鍵技術(shù)之一,直接影響微小單元體質(zhì)量的計算精度,而重量載荷則是片層質(zhì)量檢測系統(tǒng)精度的主要影響因素。通過片層質(zhì)量計算推導(dǎo)過程與工程力學(xué)有限元分析,量化重量載荷變化對片層質(zhì)量誤差的影響,并研究可行有效的誤差補償方法,最后通過驗證實驗證明該誤差補償方法具有可靠性。

論玻璃基板稱重系統(tǒng)精度提高的對策

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應(yīng)用于玻璃基板生產(chǎn)的在線式稱重系統(tǒng)(以下簡稱稱重系統(tǒng)),要求能夠快速、精確、非接觸式(不能接觸玻璃基板品質(zhì)保證區(qū))的稱量玻璃基板的重量。為解決原稱重系統(tǒng)的問題,我們設(shè)計一種不需要取出裝置的稱重系統(tǒng),這樣既可解決取出、放回過程的時間占用,同時也能消除電氣連接對稱重精度的影響。經(jīng)過實際使用,發(fā)現(xiàn)該稱重系統(tǒng)仍存在一些影響精度的問題。通過改造,系統(tǒng)精度完全滿足前一工序工藝控制的要求,能夠快速反饋精確的重量數(shù)據(jù)。

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