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設(shè)計(jì)了一種五位分布式微電子機(jī)械系統(tǒng)(MEMS)移相器,通過分析對(duì)比傳統(tǒng)分布式MEMS移相器加載直流偏置的兩種方式,提出了一種新的直流偏置的加載方式,能解決傳統(tǒng)方式帶來的交直流干擾和引線繁雜問題,同時(shí)工藝容易實(shí)現(xiàn)。采用ADS軟件對(duì)移相器進(jìn)行級(jí)聯(lián)仿真,優(yōu)化了微波性能參數(shù),仿真得出移相器在35 GHz時(shí)移相精確度小于3°,移相器的插入損耗小于0.5 dB,回波損耗大于23 dB。給出了五位分布式MEMS移相器的工藝流程,同時(shí)驗(yàn)證了所設(shè)計(jì)加載直流偏置方式工藝簡(jiǎn)單的優(yōu)勢(shì)。
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