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特種氣體系統(tǒng)工程設(shè)計(jì)規(guī)范

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特 種 氣 體 系 統(tǒng) 工 程 技 術(shù) 規(guī) 范 2011-04-07 08:31:54| 分類：默認(rèn)分類 |標(biāo)簽：氣體特種管道氣瓶閥門 |字號(hào)訂閱 1 總 則 1.0.1 為了在電子工廠特種氣體系統(tǒng)工程設(shè)計(jì)和施工中正確貫徹國(guó)家法律、法規(guī)，確保安全可靠，保 護(hù)環(huán)境，滿足電子產(chǎn)品生產(chǎn)要求，保護(hù)人身和財(cái)產(chǎn)安全，做到安全適用、技術(shù)先進(jìn)，經(jīng)濟(jì)合理。制定 本規(guī)范。 1.0.2 本規(guī)范適用于新建、擴(kuò)建和改建的電子工廠的特種氣體輸送系統(tǒng)工程的設(shè)計(jì)和施工。 1.0.3 本規(guī)范不適用特種氣體的制取、提純、灌裝系統(tǒng)的設(shè)計(jì)和施工。 1.0.4 特種氣體系統(tǒng)的設(shè)計(jì)和施工除應(yīng)符合本規(guī)范的規(guī)定外，應(yīng)符合國(guó)家現(xiàn)行有關(guān)標(biāo)準(zhǔn)的規(guī)定。 2 術(shù) 語(yǔ) 2.0.1 特種氣體 specialily gas 用于各種電子產(chǎn)品生產(chǎn)的薄膜氣體、摻雜氣體、外延氣體、離子注入氣體、刻蝕氣體及工藝設(shè)備所使 用的氣體。通常包括可燃性氣體、氧化性

特種氣體系統(tǒng)工程設(shè)計(jì)規(guī)范

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特種氣體系統(tǒng)工程技術(shù)規(guī)范 2011-04-07 08:31:54| 分類： 默認(rèn)分類 | 標(biāo)簽：氣體 特種 管道 氣瓶 閥門 |字號(hào) 訂閱 1 總 則 1.0.1 為了在電子工廠特種氣體系統(tǒng)工程設(shè)計(jì)和施工中正確貫徹國(guó)家法律、法規(guī)，確保安全可靠，保 護(hù)環(huán)境，滿足電子產(chǎn)品生產(chǎn)要求，保護(hù)人身和財(cái)產(chǎn)安全，做到安全適用、技術(shù)先進(jìn)，經(jīng)濟(jì)合理。制定本 規(guī)范。 1.0.2 本規(guī)范適用于新建、擴(kuò)建和改建的電子工廠的特種氣體輸送系統(tǒng)工程的設(shè)計(jì)和施工。 1.0.3 本規(guī)范不適用特種氣體的制取、提純、灌裝系統(tǒng)的設(shè)計(jì)和施工。 1.0.4 特種氣體系統(tǒng)的設(shè)計(jì)和施工除應(yīng)符合本規(guī)范的規(guī)定外，應(yīng)符合國(guó)家現(xiàn)行有關(guān)標(biāo)準(zhǔn)的規(guī)定。 2 術(shù) 語(yǔ) 2.0.1 特種氣體 specialily gas 用于各種電子產(chǎn)品生產(chǎn)的薄膜氣體、摻雜氣體、外延氣體、離子注入氣體、刻蝕氣體及工藝設(shè)備所使用 的氣體。通常包括可燃性氣體、氧

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