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螈氣體質(zhì)量流量計(jì)控制器知識(shí) 芅氣體質(zhì)量流量控制器( MFC)與氣體質(zhì)量流量計(jì)( MFM),MFC是帶有控制氣體質(zhì)量流量的裝置,而 MFM是不具 有控制氣體質(zhì)量流量功能的裝置。 膁首先區(qū)分一下 羋 MFC為 MassFlowController 的縮寫, 即質(zhì)量流量控制。 流體在旋轉(zhuǎn)的管內(nèi)流動(dòng)時(shí)會(huì)對(duì)管壁產(chǎn)生一個(gè)力, 它是科 里奧利在 1832 年研究水輪機(jī)時(shí)發(fā)現(xiàn)的,簡(jiǎn)稱科氏力。質(zhì)量流量計(jì)以科氏力為基礎(chǔ),在傳感器內(nèi)部有兩根平行的 T型振管,中部裝有驅(qū)動(dòng)線圈,兩端裝有拾振線圈,變送器提供的激勵(lì)電壓加到驅(qū)動(dòng)線圈上時(shí),振動(dòng)管作往復(fù)周 期振動(dòng),工業(yè)過程的流體介質(zhì)流經(jīng)傳感器的振動(dòng)管,就會(huì)在振管上產(chǎn)生科氏力效應(yīng),使兩根振管扭轉(zhuǎn)振動(dòng),安裝 在振管兩端的拾振線圈將產(chǎn)生相位不同的兩組信號(hào), 這兩個(gè)信號(hào)差與流經(jīng)傳感器的流體質(zhì)量流量成比例關(guān)系。 計(jì) 算機(jī)解算出流經(jīng)振管的質(zhì)量流量。不同的介質(zhì)流經(jīng)傳感器時(shí),振管的主振頻
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螈氣體質(zhì)量流量計(jì)控制器知識(shí) 芅氣體質(zhì)量流量控制器( MFC)與氣體質(zhì)量流量計(jì)( MFM),MFC是帶有控制氣體質(zhì)量流量的裝置,而 MFM是不具 有控制氣體質(zhì)量流量功能的裝置。 膁首先區(qū)分一下 羋 MFC為 MassFlowController 的縮寫, 即質(zhì)量流量控制。 流體在旋轉(zhuǎn)的管內(nèi)流動(dòng)時(shí)會(huì)對(duì)管壁產(chǎn)生一個(gè)力, 它是科 里奧利在 1832 年研究水輪機(jī)時(shí)發(fā)現(xiàn)的,簡(jiǎn)稱科氏力。質(zhì)量流量計(jì)以科氏力為基礎(chǔ),在傳感器內(nèi)部有兩根平行的 T型振管,中部裝有驅(qū)動(dòng)線圈,兩端裝有拾振線圈,變送器提供的激勵(lì)電壓加到驅(qū)動(dòng)線圈上時(shí),振動(dòng)管作往復(fù)周 期振動(dòng),工業(yè)過程的流體介質(zhì)流經(jīng)傳感器的振動(dòng)管,就會(huì)在振管上產(chǎn)生科氏力效應(yīng),使兩根振管扭轉(zhuǎn)振動(dòng),安裝 在振管兩端的拾振線圈將產(chǎn)生相位不同的兩組信號(hào), 這兩個(gè)信號(hào)差與流經(jīng)傳感器的流體質(zhì)量流量成比例關(guān)系。 計(jì) 算機(jī)解算出流經(jīng)振管的質(zhì)量流量。不同的介質(zhì)流經(jīng)傳感器時(shí),振管的主振頻
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