更新日期: 2025-03-20

Si片磨削中砂輪粒徑對(duì)Si片損傷層的影響

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Si片磨削中砂輪粒徑對(duì)Si片損傷層的影響 4.6

在直徑300 mm Si片制備中,利用雙面磨削技術(shù)能為后續(xù)加工提供高精度的表面,但Si片損傷層厚度較大。通過(guò)掃描電子顯微鏡和透射電子顯微鏡對(duì)Si片表面及截面進(jìn)行觀察,得到了經(jīng)不同粒徑的砂輪磨削后的Si片的表面及截面形貌、Si片的表面及亞表面損傷層的厚度并進(jìn)行了分析比較。結(jié)果表明,用粒度更小的3000#砂輪磨削,能夠有效地降低Si片表面及亞表面損傷層的厚度,為優(yōu)化300 mm單晶Si片雙面磨削工藝、提高Si片表面磨削質(zhì)量提供了清晰、量化的實(shí)驗(yàn)理論依據(jù)。

砂輪粒徑對(duì)300mm Si片雙面磨削影響的研究 砂輪粒徑對(duì)300mm Si片雙面磨削影響的研究 砂輪粒徑對(duì)300mm Si片雙面磨削影響的研究

砂輪粒徑對(duì)300mm Si片雙面磨削影響的研究

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在直徑300mmsi片制備過(guò)程中,利用雙面磨削技術(shù)能獲得高精度的表面參數(shù),但同時(shí)卻會(huì)在si片表面留下明顯的磨削印痕,這會(huì)影響si片表面平整度。通過(guò)選擇#2000和#3000砂輪對(duì)si片進(jìn)行磨削實(shí)驗(yàn),獲得兩種型號(hào)砂輪磨削出si片的形貌圖、磨削印痕和局部平整度,并分別進(jìn)行了比較。結(jié)果表明,選擇粒度更細(xì)的#3000砂輪能夠有效地弱化si片表面的磨削印痕,同時(shí)改善邊緣局部平整度差的問(wèn)題,從而提高si磨削片表面的局部平整度。

砂輪粒徑對(duì)磨削后Si片表面形貌的影響 砂輪粒徑對(duì)磨削后Si片表面形貌的影響 砂輪粒徑對(duì)磨削后Si片表面形貌的影響

砂輪粒徑對(duì)磨削后Si片表面形貌的影響

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磨削工藝被廣泛應(yīng)用于大直徑si襯底的制備中,而由磨削帶來(lái)的si片表面損傷及形貌對(duì)后續(xù)加工有較大的影響。利用掃描電子顯微鏡、粗糙度儀、喇曼光譜儀等工具對(duì)經(jīng)過(guò)2000#、3000#、8000#砂輪磨削的si片表面損傷層厚度及表面形貌進(jìn)行了一系列測(cè)試,通過(guò)對(duì)測(cè)試數(shù)據(jù)的分析,得到了不同粒徑磨削砂輪的優(yōu)缺點(diǎn),在此基礎(chǔ)上提出了將傳統(tǒng)單步磨削工藝優(yōu)化為2000#磨削+8000#磨削的兩步加工工藝,該工藝既可以保證較高的si片表面質(zhì)量,又具有較高的生產(chǎn)效率。

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砂輪片加工件材質(zhì)硬度對(duì)振動(dòng)頻譜分布的影響 砂輪片加工件材質(zhì)硬度對(duì)振動(dòng)頻譜分布的影響 砂輪片加工件材質(zhì)硬度對(duì)振動(dòng)頻譜分布的影響

砂輪片加工件材質(zhì)硬度對(duì)振動(dòng)頻譜分布的影響

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砂輪片加工件材質(zhì)硬度對(duì)振動(dòng)頻譜分布的影響 4.6

砂輪片加工件材質(zhì)硬度對(duì)振動(dòng)頻譜分布的影響

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砂輪粒度、砂輪轉(zhuǎn)速對(duì)42CrMo鋼磨削淬硬層的影響 砂輪粒度、砂輪轉(zhuǎn)速對(duì)42CrMo鋼磨削淬硬層的影響 砂輪粒度、砂輪轉(zhuǎn)速對(duì)42CrMo鋼磨削淬硬層的影響

砂輪粒度、砂輪轉(zhuǎn)速對(duì)42CrMo鋼磨削淬硬層的影響

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砂輪粒度、砂輪轉(zhuǎn)速對(duì)42CrMo鋼磨削淬硬層的影響 4.5

在mm7132平面磨床上對(duì)正火態(tài)的42crmo鋼進(jìn)行了磨削淬火試驗(yàn),研究了砂輪粒度及砂輪轉(zhuǎn)速對(duì)淬硬層深度及組織的影響。結(jié)果表明:磨削深度在0.1~0.6mm變化時(shí),砂輪粒度對(duì)淬硬層深度影響不明顯,砂輪轉(zhuǎn)速由1500r/min增加至3000r/min過(guò)程中,磨削淬火的工藝穩(wěn)定性得到提高。磨削淬火后,42crmo鋼的完全淬硬區(qū)顯微硬度為510~850hv,完全淬硬區(qū)由細(xì)小的板條狀馬氏體組成,過(guò)渡區(qū)由馬氏體、鐵素體、珠光體以及回火索氏體組織組成。

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Si片磨削中砂輪粒徑對(duì)Si片損傷層的影響熱門(mén)文檔

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砂輪離心力對(duì)磨削精度的影響

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砂輪離心力對(duì)磨削精度的影響 4.8

在精密磨削工件時(shí),高速旋轉(zhuǎn)砂輪所產(chǎn)生的離心力會(huì)引起砂輪尺寸變化,勢(shì)必影響被磨削工件的最終精度。為此,通過(guò)ansys動(dòng)態(tài)仿真分析,發(fā)現(xiàn)砂輪直徑變大、軸向尺寸縮進(jìn)。分析結(jié)果為高速、精密數(shù)控磨削加工的砂輪幾何參數(shù)補(bǔ)償提供了依據(jù)。

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螺桿轉(zhuǎn)子成形磨削中砂輪截形的計(jì)算 螺桿轉(zhuǎn)子成形磨削中砂輪截形的計(jì)算 螺桿轉(zhuǎn)子成形磨削中砂輪截形的計(jì)算

螺桿轉(zhuǎn)子成形磨削中砂輪截形的計(jì)算

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螺桿轉(zhuǎn)子成形磨削中砂輪截形的計(jì)算 4.6

針對(duì)螺桿轉(zhuǎn)子成形磨削中端面截形為離散點(diǎn)數(shù)據(jù)的情況,應(yīng)用空間嚙合原理建立了螺桿轉(zhuǎn)子齒面加工的數(shù)學(xué)模型,推導(dǎo)了砂輪回轉(zhuǎn)面和轉(zhuǎn)子螺旋面之間的接觸條件式,綜合運(yùn)用三次參數(shù)樣條函數(shù)法、追趕法和fsolve函數(shù),利用matlab軟件編程計(jì)算出了砂輪軸向截形,為砂輪數(shù)控修整程序的編制提供了有效數(shù)據(jù)。

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球面磨削中砂輪磨損量的理論和實(shí)驗(yàn)研究 球面磨削中砂輪磨損量的理論和實(shí)驗(yàn)研究 球面磨削中砂輪磨損量的理論和實(shí)驗(yàn)研究

球面磨削中砂輪磨損量的理論和實(shí)驗(yàn)研究

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球面磨削中砂輪磨損量的理論和實(shí)驗(yàn)研究 4.4

采用分塊杯形砂輪磨削高硬度球面時(shí),工件和砂輪接觸面積隨著砂輪的磨損而發(fā)生變化,對(duì)磨削力等參數(shù)有較大影響?;谡钩煞ㄇ蛎婺ハ髟硌芯苛松拜唹K的磨損過(guò)程,建立了砂輪磨損量、砂輪和工件接觸面積的數(shù)學(xué)模型。實(shí)驗(yàn)研究了陶瓷結(jié)合劑cbn砂輪精密磨削wc-co球面涂層材料的砂輪磨損過(guò)程,通過(guò)sem實(shí)驗(yàn)分析了砂輪的磨損機(jī)理,驗(yàn)證了砂輪磨損量計(jì)算模型。

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砂輪片及加工件材質(zhì)硬度對(duì)振動(dòng)頻譜分布的影響 砂輪片及加工件材質(zhì)硬度對(duì)振動(dòng)頻譜分布的影響 砂輪片及加工件材質(zhì)硬度對(duì)振動(dòng)頻譜分布的影響

砂輪片及加工件材質(zhì)硬度對(duì)振動(dòng)頻譜分布的影響

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砂輪片及加工件材質(zhì)硬度對(duì)振動(dòng)頻譜分布的影響 4.4

本文對(duì)4種砂輪機(jī)(10臺(tái))進(jìn)行振動(dòng)測(cè)試和頻譜分析,結(jié)果表明:砂輪機(jī)振動(dòng)頻譜圖形均隨砂輪片或加工件材質(zhì)的改變而出現(xiàn)規(guī)律性變化,材質(zhì)硬度較低時(shí),6.3~40hz頻段振動(dòng)強(qiáng)度增高,50~1khz頻段振動(dòng)強(qiáng)度明顯下降;材質(zhì)硬度相對(duì)增大時(shí),低高頻段振動(dòng)強(qiáng)度則相反。分析認(rèn)為,砂輪片或加工件材質(zhì)硬度直接影響頻譜分布,是決定頻率計(jì)權(quán)加速度值的重要因素。

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Si對(duì)Ti-Al-Si-N涂層微觀結(jié)構(gòu)及性能的影響

Si對(duì)Ti-Al-Si-N涂層微觀結(jié)構(gòu)及性能的影響

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Si對(duì)Ti-Al-Si-N涂層微觀結(jié)構(gòu)及性能的影響 4.4

ti-al-si-n涂層是在ti-al-n涂層基礎(chǔ)上發(fā)展而來(lái)的一種四元復(fù)合涂層。本文綜述了si對(duì)ti-al-si-n涂層微觀結(jié)構(gòu)、硬度、殘余應(yīng)力、抗氧化性能、熱穩(wěn)定性能、摩擦磨損性能及切削性能的影響。分析表明:si元素能有效細(xì)化晶粒,減少柱狀晶,形成新型納米結(jié)構(gòu),從而顯著提高涂層硬度,可達(dá)39gpa;si的原子分?jǐn)?shù)超過(guò)5%后,涂層殘余應(yīng)力逐漸降低;ti-al-si-n涂層在1100℃下仍具有良好的抗氧化性能;si元素使涂層的熱穩(wěn)定性能有很大提高,ti-al-si-n涂層1100℃氧化后硬度無(wú)顯著變化;與ti-al-n涂層相比,添加si元素后涂層的摩擦系數(shù)由0.7下降至0.5;ti-al-si-n涂層刀具的使用壽命與si原子分?jǐn)?shù)有很大的關(guān)系。

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Si片磨削中砂輪粒徑對(duì)Si片損傷層的影響精華文檔

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金剛石砂輪恒力磨削Si_3N_4陶瓷的鈍化模型

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金剛石砂輪恒力磨削Si_3N_4陶瓷的鈍化模型 4.3

以磨削效率作為評(píng)價(jià)指標(biāo),通過(guò)實(shí)驗(yàn)建立了恒力磨削條件下砂輪全鈍化周期的鈍化曲線,并根據(jù)鈍化速度和鈍化方式將其分為三個(gè)階段,即初期鈍化階段、穩(wěn)定鈍化階段和急劇鈍化階段。其中初期鈍化階段鈍化速度最慢,磨削效率最高。鈍化曲線隨時(shí)間的變化是由內(nèi)凹到外凸的過(guò)程,與它在這個(gè)階段的砂輪磨損過(guò)程完全不同。此外,在穩(wěn)定鈍化階段散點(diǎn)圖的基礎(chǔ)上,采用指數(shù)函數(shù)y=abx對(duì)鈍化曲線進(jìn)行擬合,并通過(guò)origin的擬合結(jié)果得出回歸方程,從而驗(yàn)證了推論的正確性。結(jié)合函數(shù)方程結(jié)果,探討了采用鈍化率k作為磨削液評(píng)價(jià)指標(biāo)的方法。

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高速低粗糙度磨削中剛玉類(lèi)磨料砂輪對(duì)磨削效果的影響 高速低粗糙度磨削中剛玉類(lèi)磨料砂輪對(duì)磨削效果的影響 高速低粗糙度磨削中剛玉類(lèi)磨料砂輪對(duì)磨削效果的影響

高速低粗糙度磨削中剛玉類(lèi)磨料砂輪對(duì)磨削效果的影響

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高速低粗糙度磨削中剛玉類(lèi)磨料砂輪對(duì)磨削效果的影響 4.3

本文考察了五種剛玉類(lèi)磨料砂輪對(duì)磨削表面粗糙度、劃傷、振紋以及表面波紋度的影響,為高速低粗糙度磨削砂輪磨料的合理選擇提供必要的依據(jù)。

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數(shù)控磨削過(guò)程中砂輪電機(jī)電流的實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè) 數(shù)控磨削過(guò)程中砂輪電機(jī)電流的實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè) 數(shù)控磨削過(guò)程中砂輪電機(jī)電流的實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)

數(shù)控磨削過(guò)程中砂輪電機(jī)電流的實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)

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數(shù)控磨削過(guò)程中砂輪電機(jī)電流的實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè) 4.5

針對(duì)數(shù)控外圓磨床的運(yùn)行條件,提出在監(jiān)測(cè)過(guò)程中遇到的問(wèn)題及解決方法,并將該方法運(yùn)用到實(shí)際數(shù)控機(jī)床電機(jī)電流的實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)中,證明了方法的可行性和價(jià)值性.

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數(shù)控曲軸磨削加工中砂輪磨損量的檢測(cè)方法 數(shù)控曲軸磨削加工中砂輪磨損量的檢測(cè)方法 數(shù)控曲軸磨削加工中砂輪磨損量的檢測(cè)方法

數(shù)控曲軸磨削加工中砂輪磨損量的檢測(cè)方法

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數(shù)控曲軸磨削加工中砂輪磨損量的檢測(cè)方法 4.6

提出了一種基于聲發(fā)射檢測(cè)技術(shù)的砂輪磨損測(cè)量及加工誤差補(bǔ)償系統(tǒng)。該系統(tǒng)可以測(cè)量砂輪的磨損量,并將測(cè)量結(jié)果反饋至數(shù)控系統(tǒng),從而實(shí)現(xiàn)砂輪磨損的自動(dòng)補(bǔ)償。并通過(guò)試驗(yàn)驗(yàn)證了所提出方法的有效性。

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砂輪劃片機(jī)主軸系統(tǒng)裝配精度對(duì)劃切槽質(zhì)量的影響 砂輪劃片機(jī)主軸系統(tǒng)裝配精度對(duì)劃切槽質(zhì)量的影響 砂輪劃片機(jī)主軸系統(tǒng)裝配精度對(duì)劃切槽質(zhì)量的影響

砂輪劃片機(jī)主軸系統(tǒng)裝配精度對(duì)劃切槽質(zhì)量的影響

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砂輪劃片機(jī)主軸系統(tǒng)裝配精度對(duì)劃切槽質(zhì)量的影響 4.4

分析砂輪劃片機(jī)主軸系統(tǒng)的裝配精度,使得主軸刀盤(pán)面在工作臺(tái)笛卡爾坐標(biāo)系中的位置精度以及在安裝砂輪刀片后,劃切晶圓對(duì)劃切槽質(zhì)量造成的影響,如何調(diào)整刀盤(pán)的精度,降低崩邊和裂角,提高劃切槽的質(zhì)量。

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Si片磨削中砂輪粒徑對(duì)Si片損傷層的影響最新文檔

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鋸鋼軌砂輪片

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鋸鋼軌砂輪片 4.3

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55鋼CBN砂輪平面磨削的磨削力模型研究 55鋼CBN砂輪平面磨削的磨削力模型研究 55鋼CBN砂輪平面磨削的磨削力模型研究

55鋼CBN砂輪平面磨削的磨削力模型研究

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55鋼CBN砂輪平面磨削的磨削力模型研究 4.7

本文建立了基于未變形磨屑厚度的磨削力計(jì)算模型。根據(jù)55號(hào)鋼的cbn砂輪平面磨削實(shí)驗(yàn),首先采用隨機(jī)方向搜索法對(duì)切向力模型進(jìn)行優(yōu)化擬合,再根據(jù)擬合的參數(shù)對(duì)法向力模型進(jìn)行優(yōu)化,得出了cbn砂輪與工件之間的摩擦系數(shù)和磨粒頂錐角。分析了摩擦力在磨削力中所占比重的影響因素,結(jié)果表明:當(dāng)切深不變時(shí),隨著vs/vw比值的增加,磨削力以及摩擦力在磨削力中所占的比重均下降,但當(dāng)磨粒間距增加時(shí),磨削力減小,而摩擦力在磨削力中所占比重增加。

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新穎的砂紙片砂輪 新穎的砂紙片砂輪 新穎的砂紙片砂輪

新穎的砂紙片砂輪

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新穎的砂紙片砂輪 4.6

庫(kù)伊貝舍夫斯基工學(xué)院(獨(dú)聯(lián)體)研制了一種砂紙片砂輪,其結(jié)構(gòu)見(jiàn)圖1。該砂輪由于能改變工作部分的幾何參數(shù),因此具有較高的工作效率。該砂輪包括帶偏心凸肩的基座2,法蘭盤(pán)4和壓緊圓盤(pán)6,在圓盤(pán)6上安裝法蘭盤(pán)5。上述零件的內(nèi)孔或凸肩都帶有偏心量。法蘭盤(pán)4的內(nèi)孔與基座2凸肩的偏心量相同,而法蘭盤(pán)

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磨削金剛石復(fù)合片的兩種超硬砂輪的對(duì)比分析 磨削金剛石復(fù)合片的兩種超硬砂輪的對(duì)比分析 磨削金剛石復(fù)合片的兩種超硬砂輪的對(duì)比分析

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磨削金剛石復(fù)合片的兩種超硬砂輪的對(duì)比分析 4.8

以生產(chǎn)現(xiàn)場(chǎng)實(shí)測(cè)數(shù)字為依據(jù),采用外徑、孔徑和厚度等參數(shù)相同,環(huán)寬不同的陶瓷和樹(shù)脂兩種結(jié)合劑金剛石砂輪對(duì)金剛石復(fù)合片進(jìn)行磨削對(duì)比實(shí)驗(yàn),進(jìn)而研究這兩種砂輪對(duì)磨削金剛石復(fù)合片的不同影響。實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明:樹(shù)脂金剛石砂輪和陶瓷金剛石砂輪在磨削金剛石復(fù)合片時(shí)性?xún)r(jià)比相差較大。實(shí)際數(shù)據(jù)顯示,盡管選用的陶瓷砂輪環(huán)寬稍大于樹(shù)脂砂輪,但是在磨削相同型號(hào)的金剛石復(fù)合片時(shí),選擇樹(shù)脂砂輪性?xún)r(jià)比要高出陶瓷砂輪15%以上。

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Si對(duì)可鍛鑄鐵顯微組織和硬度的影響 Si對(duì)可鍛鑄鐵顯微組織和硬度的影響 Si對(duì)可鍛鑄鐵顯微組織和硬度的影響

Si對(duì)可鍛鑄鐵顯微組織和硬度的影響

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Si對(duì)可鍛鑄鐵顯微組織和硬度的影響 4.7

就硅含量對(duì)可鍛鑄鐵的顯微組織和硬度的影響進(jìn)行了研究。實(shí)驗(yàn)中設(shè)計(jì)熔煉了三種不同硅含量可鍛鑄鐵試樣,在三個(gè)不同溫度點(diǎn),對(duì)各鑄鐵試樣分別進(jìn)行空冷、爐冷、水淬、油淬處理,進(jìn)而分析得出硅含量對(duì)可鍛鑄鐵的顯微組織和硬度影響的規(guī)律。在空冷和水淬后,可鍛鑄鐵的硬度隨硅含量的增加而降低;在爐冷和油淬后,可鍛鑄鐵的硬度隨硅含量的增加而升高。

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薄片砂輪間斷磨削不銹鋼零件的加工工藝方法 薄片砂輪間斷磨削不銹鋼零件的加工工藝方法 薄片砂輪間斷磨削不銹鋼零件的加工工藝方法

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薄片砂輪間斷磨削不銹鋼零件的加工工藝方法 4.4

根據(jù)不銹鋼材料的特點(diǎn)及加工性能,結(jié)合具體零件,通過(guò)幾種加工工藝方法的分析比較,提出了對(duì)薄片砂輪進(jìn)行工藝處理,進(jìn)而采用薄片砂輪間斷磨削方法加工不銹鋼零件。

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電鍍金剛石砂輪磨削加工Si_pC顆粒增強(qiáng)鋁基復(fù)合材料的研究 電鍍金剛石砂輪磨削加工Si_pC顆粒增強(qiáng)鋁基復(fù)合材料的研究 電鍍金剛石砂輪磨削加工Si_pC顆粒增強(qiáng)鋁基復(fù)合材料的研究

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電鍍金剛石砂輪磨削加工Si_pC顆粒增強(qiáng)鋁基復(fù)合材料的研究 4.4

顆粒增強(qiáng)鋁基復(fù)合材料性能優(yōu)良,在儀器儀表、航空航天等領(lǐng)域有著十分廣泛的應(yīng)用。本文提出了利用電鍍金剛石砂輪在普通數(shù)控加工中心上對(duì)sipc顆粒增強(qiáng)鋁基復(fù)合材料進(jìn)行平面磨削的加工方法。通過(guò)正交實(shí)驗(yàn),研究了主軸轉(zhuǎn)速,進(jìn)給量和磨削深度對(duì)磨削力的影響。實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明:磨削深度對(duì)磨削力影響最大,其次為進(jìn)給量,主軸轉(zhuǎn)速對(duì)磨削力的影響很小。之后利用最小二乘法推導(dǎo)出了經(jīng)驗(yàn)公式,并利用所得公式對(duì)實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)進(jìn)行了重新計(jì)算,對(duì)擬合精度進(jìn)行了分析,最后對(duì)磨削表面粗糙度進(jìn)行了簡(jiǎn)單實(shí)驗(yàn)。實(shí)驗(yàn)表明:磨削深度對(duì)粗糙度影響較小,主軸轉(zhuǎn)速、進(jìn)給量與粗糙度成正比關(guān)系,粗糙度在0.4~0.6μm之間。

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CBN砂輪高速磨削磨削力分力比實(shí)驗(yàn)研究 CBN砂輪高速磨削磨削力分力比實(shí)驗(yàn)研究 CBN砂輪高速磨削磨削力分力比實(shí)驗(yàn)研究

CBN砂輪高速磨削磨削力分力比實(shí)驗(yàn)研究

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CBN砂輪高速磨削磨削力分力比實(shí)驗(yàn)研究 4.6

通過(guò)實(shí)驗(yàn)分析了cbn砂輪高速磨削磨削力分力比的變化情況,針對(duì)不同的磨削參數(shù)對(duì)磨削力分力比的影響程度進(jìn)行研究.結(jié)果表明:磨削深度ap的增大、砂輪線速度vs的提高、工作臺(tái)速度vw的提高都會(huì)使磨削力分力比cf增大.在砂輪狀況對(duì)磨削力分力比的影響中,磨粒尺寸小的砂輪磨削力分力比更小.

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砂輪切割片的妙用 砂輪切割片的妙用 砂輪切割片的妙用

砂輪切割片的妙用

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砂輪切割片的妙用 4.5

在車(chē)床上,切斷和車(chē)螺紋是常見(jiàn)的加工方法。刀具一般用高速鋼通過(guò)手工刃磨的方法使之成形,見(jiàn)圖1。一把刀具在砂輪上需要工人花費(fèi)很長(zhǎng)時(shí)間才能完成,耗時(shí)費(fèi)力,影響加工效

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高速陶瓷CBN砂輪貼片的實(shí)驗(yàn)研究 高速陶瓷CBN砂輪貼片的實(shí)驗(yàn)研究 高速陶瓷CBN砂輪貼片的實(shí)驗(yàn)研究

高速陶瓷CBN砂輪貼片的實(shí)驗(yàn)研究

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高速陶瓷CBN砂輪貼片的實(shí)驗(yàn)研究 4.5

本文從影響高速cbn砂輪陶瓷貼片性能的因素入手,憑借掃描電鏡、差熱分析儀等先進(jìn)精密儀器對(duì)磨料進(jìn)行了常溫性能、差熱分析、焙燒處理(870℃)分析;同時(shí)對(duì)陶瓷結(jié)合劑配成原理、比例和性能進(jìn)行了試驗(yàn)探討;利用ansys軟件對(duì)陶瓷砂輪貼片的尺寸大小進(jìn)行了優(yōu)化分析;最后,利用超高速點(diǎn)磨削試驗(yàn)臺(tái)對(duì)焙燒好的砂輪貼片進(jìn)行了磨削性能實(shí)驗(yàn)。實(shí)驗(yàn)表明:研發(fā)的低溫高強(qiáng)陶瓷結(jié)合劑,該配方結(jié)合劑的耐火度890℃,抗折強(qiáng)度達(dá)到了60.13mpa;燒制的陶瓷貼片在小進(jìn)給、小切深、超高速磨削下,表面粗糙度ra值為0.002mm左右。

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Si片磨削中砂輪粒徑對(duì)Si片損傷層的影響相關(guān)

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