光刻機用精密碳化硅陶瓷部件制備技術(shù)
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第 37卷 第 3期 現(xiàn) 代 技 術(shù) 陶 瓷 Vol. 37 No. 3 2016 年 6 月 Advanced Ceramics June 2016 中圖分類號: TB321 文獻編號: 1005-1198 (2016) 03-0168-11 文獻標識碼: A DOI: 10.16253/j.cnki.37-1226/tq.2016.02.011 光刻機用精密碳化硅陶瓷部件制備技術(shù) 劉海林,霍艷麗,胡傳奇,黃小婷,王春朋,梁海龍,唐 婕,陳玉峰 中國建筑材料科學研究總院,北京 100024 摘 要:本文介紹了光刻機用碳化硅陶瓷結(jié)構(gòu)件的特點及其對材料的要求,分析了碳化硅 陶瓷在光刻機中作為結(jié)構(gòu)件材料使用的優(yōu)勢,著重介紹了中國建筑材料科學研究總院在精密碳 化硅結(jié)構(gòu)件的制備領(lǐng)域所取得的技術(shù)成果,列舉了精密碳化硅結(jié)構(gòu)件在光刻機等集成電路制造 關(guān)鍵裝備中的應用。 關(guān)鍵詞:碳化硅;凝膠注模;素坯
碳化硅多孔陶瓷制備技術(shù)研究進展
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*湖南省科技計劃重點項目(06sk2011) 周向陽:男,1969年生,副教授研究方向:功能材料及工業(yè)電化學e2mail:wanghuiziyu@126.com 碳化硅多孔陶瓷制備技術(shù)研究進展* 周向陽,王輝,劉宏專,李劼 (中南大學冶金科學與工程學院,長沙410083) 摘要分別對碳化硅多孔陶瓷的主要制備方法進行了闡述,分析了這些制備方法的主要優(yōu)缺點,并指出將來的 研究重點應是高性能碳化硅多孔陶瓷的低成本制備技術(shù)及其應用領(lǐng)域的進一步拓展。另外,各種制備工藝條件同碳 化硅多孔陶瓷性能之間的內(nèi)在聯(lián)系研究也應該進一步深化。 關(guān)鍵詞碳化硅多孔陶瓷制備技術(shù)低成本 developmentofporoussicceramicspreparationtechnology zhouxiangyang,wang
高性能碳化硅陶瓷的工程應用
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高性能碳化硅陶瓷的工程應用 作者:高積強,喬冠軍,金志浩 作者單位:西安交通大學西安天健工程陶瓷有限公司,710049 本文鏈接:http://d.g.wanfangdata.com.cn/conference_6265561.aspx
碳化硅陶瓷噴砂嘴的研制
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sic陶瓷材料因其具有良好的耐磨、耐沖刷、耐腐蝕等優(yōu)異的特性,被廣泛應用機械、化工等行業(yè)。本文采用雙向加壓的壓制成型方法,通過無壓燒結(jié),成功的研制了在高耐磨、耐沖刷環(huán)境下所使用的噴砂機用噴砂嘴。
碳化硅多孔陶瓷的制備研究
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碳化硅多孔陶瓷的制備研究 材料學院090201班孫欽巍20090533 摘要:采用氣固相合成的方法制備出比表面積可達260m2·g-1的多孔sic顆 粒。對制備溫度、時間進行了考察。將多孔sic負載co催化劑用于費托合成反 應發(fā)現(xiàn),由于sic的化學惰性較強,金屬與載體間的相互作用較弱,有利于鈷氧化物 的還原,提高了催化劑活性。同時sic熱導性好,有利于反應熱量的及時移出,可防 止催化劑燒結(jié)。co單程轉(zhuǎn)化率超過60%,表現(xiàn)出良好的催化活性。制備出的多孔 碳化硅通過xrd、sem、低溫氮氣吸附、tpr等手段進行了表征。 關(guān)鍵詞:高比表面積催化劑載體;碳化硅;費托合成 preparationandapplicationofanovelporoussiliconcarbidecatalystsupport abstr
碳化硅陶瓷的制備及燒結(jié)溫度對其密度影響的研究
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碳化硅陶瓷的制備及燒結(jié)溫度對其密度影響的研究
反應燒結(jié)碳化硅陶瓷素坯連接的研究
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http://www.***.*** -1- 反應燒結(jié)碳化硅陶瓷素坯連接的研究 葉春燕,武七德,鄧明進 武漢理工大學硅酸鹽材料工程教育部重點實驗室,武漢(430070) e-mail:xxycy8311@163.com 摘要:以碳化硅和碳為糊料的主要原料,采用素坯連接的方法焊接rbsc陶瓷。探討了糊 料的碳密度、固相體積含量以及碳化硅顆粒級配對焊縫顯微結(jié)構(gòu)和機械性能的影響。研究表 明,糊料碳密度為0.84~0.86g·cm-3,固相體積含量達57vol%,焊料粘度略大于1pa·s時, 連接素坯燒結(jié)后的焊縫強度可達375mpa。研究表明焊縫具有和母材相似的顯微結(jié)構(gòu)是連接 強度得以提高的原因。 關(guān)鍵詞:碳化硅,rbsc,素坯連接 中圖分類號:tq174 1.引言 反應燒結(jié)碳化硅(rbsc)陶瓷材料具有極高的硬度,因此冷加工性
超高壓成型與無壓燒結(jié)制備細晶碳化硅陶瓷
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借助兩面頂超高壓設備,通過冷等靜壓和超高壓成型制備了相對致密度>60%的sic陶瓷生體。在低壓流動氮氣保護下,無壓燒結(jié)獲得了晶粒尺寸在200nm左右的高致密的sic陶瓷。利用掃描電鏡、x射線衍射對燒結(jié)體的斷面形貌和相組分進行分析。結(jié)果表明:超高壓處理能夠提高坯體及燒結(jié)體的致密度,并有助于抑制晶粒的長大。添加12%燒結(jié)助劑[al2o3(平均粒度約為80nm)和y2o3(平均粒度約為50nm)],經(jīng)4.5gpa,6min超高壓成型的sic樣品,在1850℃或1900℃燒結(jié)0.5h后的相對密度分別達到95.3%和98.3%。這種樣品的燒結(jié)致密化機制為y3al5o12液相燒結(jié)。
收錄碳化硅陶瓷相關(guān)專利原文125項
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收錄碳化硅陶瓷相關(guān)專利原文125項 1、一種復合陶瓷的微波燒結(jié)方法 2、油井用多孔陶瓷濾砂管 3、納米陶瓷飲水器 4、碳化硅陶瓷微孔曝氣器 5、一種單晶碳化硅短纖維的制備方法 6、碳化硅耐火制品生產(chǎn)工藝 7、防氧化碳化硅耐火材料生產(chǎn)工藝 8、碳化硅陶瓷球閥 9、氧化硅結(jié)合碳化硅耐火材料 10、一種生產(chǎn)高強度陶瓷結(jié)合碳化硅制品的方法 11、高強度碳化硅基陶瓷材料及其制備工藝 12、復相陶瓷刀具材料 13、節(jié)能防腐高溫陶瓷涂料 14、陶瓷-粘土型復合耐磨磚 15、一種熔石英陶瓷材料 16、高溫節(jié)能耐腐蝕陶瓷涂料組合物 17、碳化硅陶瓷截止閥 18、組合式陶瓷套管紅外加熱器 19、輥道窯用碳化硅輥棒及其制造方法 20、鋯剛玉多孔陶瓷過濾器的制備方法 21、晶須增韌強化碳陶瓷復合材料 22、碳化硅耐火板材制造工藝 23、陶瓷煤氣灶陶瓷煤氣灶 24、金屬陶瓷復合薄膜發(fā)動機 25、薄壁碳化硅換熱器
碳化硅生產(chǎn)新工藝,碳化硅制備加工配方設計,碳化硅技術(shù)專利全集
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碳化硅生產(chǎn)新工藝與制備加工配方設計及技術(shù)專利全集 主編:國家專利局編寫組 出版發(fā)行:中國知識出版社2011年 規(guī)格:全四卷16開精裝+1張cd光盤 定價:1180元優(yōu)惠價:680元 詳細目錄 1200410030786.8鋁電解槽側(cè)墻用氮化硅結(jié)合碳化硅耐火磚及其制 備方法 2200410023747.5一種向缸套鉻層內(nèi)部擠入碳化硅的方法 3200410012271.5一種制備碳化硅納米纖維的方法 4200410020538.5黑色碳化硅冶煉降低單位耗料的工藝 5200410026085.7一種碳化硅發(fā)熱元件冷端部的制造方法 6200410026086.1酚醛樹脂作為結(jié)合劑的碳化硅陶瓷常溫擠壓成形 方法 702822412.4大面積碳化硅器件及其制造方法 803125220.6摻加助劑熱壓燒結(jié)塊體鈦碳化硅陶瓷材料的方法 903138926.0
用有機聚合物連接碳化硅陶瓷及陶瓷基復合材料
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用陶瓷先驅(qū)體有機聚合物連接陶瓷及陶瓷基復合材料是一種成本低廉、工藝新穎、可滿足特殊高溫條件下連接件要求的新型連接技術(shù)。介紹了近年來采用先驅(qū)體有機聚合物連接sic及其復合材料的研究現(xiàn)狀,重點對影響連接強度的因素進行分析,并提出相應的改進措施。由于該技術(shù)具有連接溫度較低、連接過程簡單、接頭熱應力小,連接件的熱穩(wěn)定性高等特點,因此它是陶瓷及其復合材料最有前途的連接方法之一。
無壓燒結(jié)碳化硅陶瓷環(huán)的生產(chǎn)工藝設計
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無壓燒結(jié)碳化硅陶瓷環(huán)的生產(chǎn)工藝設計
碳化硅陶瓷板上熔融煤灰侵蝕特性的實驗研究
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分別將0.2g云貴和金竹山煤灰以相同的面積與厚度疏松散布在硅酸鋯結(jié)合含鉻sic陶瓷板上獲得多組煤灰/陶瓷板試樣對,依次置于高溫馬弗爐中分別升溫至1250℃,1350℃和1450℃并恒溫40h;試樣自然冷卻后,對灰渣與陶瓷板進行掃描電鏡(sem)分析,然后將灰渣進行x射線衍射(xrd)檢測。結(jié)果表明,溫度對煤灰在sic陶瓷板上的侵蝕有重要影響,且在相同溫度下,sic陶瓷板上云貴煤灰的熔融燒結(jié)現(xiàn)象比金竹山煤灰嚴重得多。當用此種材料作鍋爐衛(wèi)燃帶時,對于云貴煤與金竹山煤,其表面溫度應分別控制在1250℃與1350℃以下。
新型碳化硅陶瓷基復合材料的研究進展
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新型碳化硅陶瓷基復合材料的研究進展 progressinresearchworkofnewcmc-sic 西北工業(yè)大學 張立同 成來飛 徐永東 [摘要] 介紹了碳化硅陶瓷基復合材料的應用和 發(fā)展現(xiàn)狀,闡述了cvi-cmc-sic制造技術(shù)在我國 的研究進展,開展了cvi-cmc-sic的性能與微結(jié) 構(gòu)特性的研究和cvi過程控制及其對性能影響的研 究,研制了多種cmc-sic和其構(gòu)件。材料性能和整 體研究與應用水平已躋身于國際先進行列。 關(guān)鍵詞:cvi制造技術(shù) cmc-sic 微結(jié)構(gòu) 應用研究 [abstract] theapplicationanddevelopment ofcmc-sicandtheprogressintheresearchworkof c
600碳化硅陶瓷的粉末注射成形及其導電特性
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研究了碳化硅陶瓷的粉末注射成形工藝,分析了成形工藝及燒結(jié)助劑對其顯微組織及力學性能的影響,探索了粉末注射成形碳化硅陶瓷的導電特性。以碳化硅為助劑的固相燒結(jié)溫度為2100℃,脫脂坯燒結(jié)后具有最高的真實密度(3.12g/cm3),相對密度達97.5%,燒結(jié)后試樣由固相碳化硅組成,xrd及tem能譜分析表明試樣內(nèi)部無殘余氧化硅,制品晶粒平均尺寸小于1μm,室溫彎曲強度達345mpa。采用直流電流電壓測試方法,測定了粉末注射成形方法制得的sic陶瓷在室溫至800℃范圍內(nèi)的直流電導率。
連續(xù)纖維增韌碳化硅陶瓷基復合材料研究
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第30卷第2期硅酸鹽學報vol.30,no.2 2002年4月journalofthechineseceramicsocietyapril,2002 連續(xù)纖維增韌碳化硅陶瓷基復合材料研究 徐永東,成來飛,張立同,尹洪峰 (西北工業(yè)大學凝固技術(shù)國家重點實驗室,西安710072) 摘要:采用化學氣相浸滲法制造了連續(xù)碳纖維和碳化硅纖維增韌碳化硅陶瓷基復合材料,并對復合材料的顯微結(jié)構(gòu)和力學性能進行了研 究.c/sic和sic/sic復合材料的密度分別為2.1g/cm3和2.5g/cm3,在斷裂過程中表現(xiàn)出明顯的非線形和非災難性的斷裂行為和規(guī)律.c/ sic和sic/sic彎曲強度分別為450mpa和860mpa,從室溫至1600
碳化硅微孔陶瓷過濾板的制備
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本文考察了燒成溫度、成形壓力、燒成時間、成孔劑的加入量和玻璃相加入量對sic微孔陶瓷過濾板孔隙率及微觀結(jié)構(gòu)的影響。研究表明:燒成溫度為1300℃、成形壓力為40kn、燒成時間為4h、成孔劑加入量為16.5%時,制備出的sic微孔陶瓷過濾板有著更為優(yōu)良的性能。
碳化硅微孔陶瓷過濾板的制備
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本文考察了sic微孔陶瓷過濾板的燒成溫度、成型壓力、燒成時間、成孔劑的加入量和玻璃相加入量對sic微孔陶瓷過濾板孔隙率及微觀結(jié)構(gòu)的影響。研究表明:在燒成溫度為1300℃、成型壓力為40kn、燒成時間為4h,成孔劑和玻璃相加入量分別在16.5%、6%的條件下,制備出的sic微孔陶瓷過濾板有著更為優(yōu)良的性能。
碳化硅鋁復合材料的制備
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1 論文題目:碳化硅鋁復合材料的制備 專業(yè):材料科學與工程 學生:段紅偉簽名: 指導老師:王濤簽名: 摘要 碳化硅顆粒增強鋁基復合材料(sicp/al復合材料)具有高比強度和比剛 度、耐磨、耐疲勞、低熱膨脹系數(shù)、低密度、高微屈服強度、良好的尺寸穩(wěn)定性 和導熱性、優(yōu)異的力學性能和物理性能。 本文采用粉末冶金法制備sicp復合材料。使用x射線衍射儀(xrd)、掃描電鏡 (sem),抗折強度試驗,洛氏硬度實驗以及密度,吸水率,氣孔率實驗等方法研 究碳化硅鋁復合材料的微觀結(jié)構(gòu)、性能特點和機理。得到實驗結(jié)果為sicp復合材 料組織均勻,致密,無雜質(zhì),氣孔少等優(yōu)良特點。隨著sic復合材料質(zhì)量分數(shù)的 增加,sicp的密度、抗折強度、硬度均相應增大,而氣孔率、吸水率隨之減小。 sic質(zhì)量分數(shù)一定的情況下,隨著燒結(jié)溫度的升高試樣的性能也越來越好。 關(guān)鍵字:
無壓燒結(jié)碳化硅陶瓷環(huán)
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主要內(nèi)容和技術(shù)經(jīng)濟指標:本公司專業(yè)性產(chǎn)氧化鋁、反應燒結(jié)碳化硅和硬質(zhì)合金環(huán).但作為新材料無壓燒結(jié)碳化硅使用越來越廣,且既耐酸又耐堿,需解決無壓燒結(jié)碳化硅制造技術(shù)和工藝。有意者請用電子郵件聯(lián)系。
雞東縣引進石墨深加工、碳化硅陶瓷材料等項目
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4.6
"縣要強,民要富,千方百計上大項目"。這是雞東縣委、縣政府認準的一個理兒,經(jīng)過兩年多的不懈努力,全縣項目建設取得里程碑式的成就,累計開發(fā)建設大項目達67個,計劃總投資94.3億元,已完成投資37.4億元,竣工項目46個,成為拉動縣域經(jīng)濟快速發(fā)展的強勁引擎。
LED碳化硅襯底基礎(chǔ)概要
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led碳化硅襯底基礎(chǔ)概要 碳化硅又稱金鋼砂或耐火砂。碳化硅是用石英砂、石油焦(或煤焦)、木屑 (生產(chǎn)綠色碳化硅時需要加食鹽)等原料在電阻爐內(nèi)經(jīng)高溫冶煉而成。碳化硅主 要分為黑色碳化硅和綠色碳化硅兩種,均為六方晶體,比重為3.20~3.25,顯 微硬度為2840~3320kg/mm2。其中:黑碳化硅是以石英砂,石油焦和優(yōu)質(zhì)硅 石為主要原料,通過電阻爐高溫冶煉而成。其硬度介于剛玉和金剛石之間,機 械強度高于剛玉,性脆而鋒利。綠碳化硅是以石油焦和優(yōu)質(zhì)硅石為主要原料, 添加食鹽作為添加劑,通過電阻爐高溫冶煉而成。其硬度介于剛玉和金剛石之 間,機械強度高于剛玉。 碳化硅的硬度很大,具有優(yōu)良的導熱和導電性能,高溫時能抗氧化。可以 作為磨料,可用來做磨具,如砂輪、油石、磨頭、砂瓦類等。還可以作為冶金 去氧劑和耐高溫材料。碳化硅主要有四大應用領(lǐng)域,即:功能陶瓷、高級耐火 材料、磨料及冶金
精密陶瓷工業(yè)常壓燒結(jié)碳化硅項目可行性研究報告
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精密陶瓷工業(yè)常壓燒結(jié)碳化硅項目 目錄 第一章總論....................................................................................1 1.1項目名稱與承辦單位............................................................1 1.2項目概況................................................................................1 1.3承辦單位概況........................................................................2 1.4股東出資比例...................
碳化硅泡沫陶瓷過濾板的研制
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以碳化硅、氧化鋁、鉀長石為主要原料,高嶺土、膨潤土為輔助原料,加入少量自研的粘結(jié)劑,采用有機前驅(qū)體浸漬法,經(jīng)1440℃燒成制備了具有氣孔率高、容重小、水通量大、抗壓強度高的碳化硅質(zhì)泡沫陶瓷板。研究了原料的質(zhì)量比、漿料濃度、粘結(jié)劑和燒成溫度等對碳化硅質(zhì)泡沫陶瓷板工藝性能的影響。
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職位:大氣環(huán)境影響評價
擅長專業(yè):土建 安裝 裝飾 市政 園林