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建立了一臺磁過濾脈沖陰極真空弧沉積裝置 .通過在 90°磁過濾管道和陰極之間加一30～ 60V的正偏壓使系統(tǒng)沉積速率得到了大幅度提高 .研究和觀察表明 ,此時在過濾管道和陰極之間產(chǎn)生了陰極真空弧放電 ,并因此使陰極消耗率大幅度增大 .對此放電回路及其和MEVVA陽極 陰極之間弧放電的相互影響進(jìn)行了初步的實驗研究
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