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更新時間：2024.12.28
CVD金剛石薄膜涂層軸承支撐器的制備和應(yīng)用

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軸承支撐器是軸承精密加工中的關(guān)鍵部件。本文采用熱絲化學(xué)氣相沉積(簡稱CVD)法,以丙酮和氫氣為碳源,在WC-Co硬質(zhì)合金軸承支撐器襯底上沉積金剛石薄膜,制備CVD金剛石薄膜涂層軸承支撐器,并應(yīng)用于軸承的精密磨削加工。結(jié)果表明,合理控制襯底材料的預(yù)處理和CVD沉積工藝對金剛石薄膜質(zhì)量、形貌、粗糙度和薄膜與襯底間的附著力有顯著影響。與傳統(tǒng)硬質(zhì)合金軸承支撐器相比,CVD金剛石涂層軸承支撐器的耐用度和使用性能顯著提高。

CVD金剛石涂層煤液化減壓閥關(guān)鍵部件的制備

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煤液化減壓閥的工作條件非?？量?對其閥座、閥芯等關(guān)鍵部件在高溫、高壓差、高固態(tài)濃度流體沖蝕條件下的抗沖蝕磨損性能及使用穩(wěn)定性提出了極高的要求。CVD金剛石涂層具有接近天然金剛石的優(yōu)異性能,非常適合用于煤液化減壓閥關(guān)鍵部件的表面強(qiáng)化。采用熱絲CVD法在硬質(zhì)合金閥座及閥芯主要的受沖蝕表面沉積獲得了金剛石涂層,為保證沉積過程中溫度分布及制備獲得的金剛石涂層厚度分布的均勻性,針對閥座和閥芯的不同結(jié)構(gòu),分別采用了直拉熱絲穿孔和平行階梯式排列兩種不同的熱絲排布方式。采用掃描電子顯微鏡(SEM)和Raman譜儀對沉積獲得的金剛石涂層進(jìn)行了性能表征,結(jié)果表明,在閥芯和閥座表面均沉積獲得了一層連續(xù)、厚度均勻、顆粒度約為3～5μm、具有典型的金剛石特征的高質(zhì)量金剛石涂層。將CVD金剛石涂層煤液化減壓閥關(guān)鍵部件應(yīng)用在實際煤液化工況條件下試運行,其使用壽命超過了1 200 h,比普通同類部件的使用壽命提高了3倍以上。

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