造價通
更新時間：2024.12.28
TEGAL421等離子刻蝕機(jī)射頻電源的維修及調(diào)整

格式：pdf

大?。?span class="single-tag-height">300KB

頁數(shù)： 3頁

TEGAL421 等離子刻蝕機(jī)射頻電源的維 修及調(diào)整 TEGAL421 等離子刻蝕機(jī)射頻電源的電路圖如下： 各部分電路的作用， DC Power Supply Board 板是一塊電源板提供射頻源 工作所需的各路電源，包括電子管工作的高低壓。 OSICLACTOR Board 板提供 射頻源的激勵信號， Q1是震蕩管，Q4是推動管，Q3,Q2組成脈寬功率調(diào)節(jié)電路。 V1和 V2是兩個輸出電子管，提供所需的射頻功率。其中 Lv 是低壓變壓器，機(jī) 器一通電，該變壓器就被通電。而 BV 是高壓變壓器，只有在需要射頻輸出時才 被通電。 Power Coupler 是入射功率和反射功率檢測模塊。主機(jī)背面的電位器 R5 和 R6 用于矯正入射和反射功率的偏差。 Test Port 測試端口用于檢測射頻電 源的工作參數(shù)。 射頻電源的調(diào)整 射頻電源調(diào)整的步驟如下： 1. 關(guān)閉交流電源。 2. 移除射頻電源

尿中總溴測定的電感耦合等離子質(zhì)譜法

格式：pdf

大?。?span class="single-tag-height">157KB

頁數(shù)： 2頁

目的 探討1-溴丙烷職業(yè)接觸人群尿中總溴的測定方法.方法 經(jīng)1％稀硝酸稀釋后的尿樣直接進(jìn)入電感耦合等離子質(zhì)譜儀（ICP-MS）中檢測,標(biāo)準(zhǔn)曲線定量.結(jié)果 尿中總溴含量的線性范圍為0.005～1.000 mg/L,線性相關(guān)系數(shù)r＞0.999;當(dāng)添加濃度為0.020、0.050和0.150 mg/L時回收率為95％～98％,批內(nèi)精密度為1.4％～3.2％,連續(xù)3天測定批間精密度為3.4％～5.0％;尿中總溴可在-20℃冰箱中放置3個月以上不損失.結(jié)論 使用ICP-MS方法測定尿中總溴具有快速,準(zhǔn)確,線性范圍寬的特點(diǎn),方法各項(xiàng)指標(biāo)均符合GBZ/T 210.5-2008《職業(yè)衛(wèi)生標(biāo)準(zhǔn)制定指南第5部分：生物材料中化學(xué)物質(zhì)測定方法》的要求,適于推廣應(yīng)用.

熱門知識

電感耦合等離子刻蝕

精華知識

電感耦合等離子刻蝕

最新知識

電感耦合等離子刻蝕
點(diǎn)擊加載更多>>

相關(guān)問答

電感耦合等離子刻蝕
點(diǎn)擊加載更多>>
專題概述
電感耦合等離子刻蝕相關(guān)專題

分類檢索：