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通過(guò)對(duì)幕墻鍍膜生產(chǎn)線的改造,用矩形平面磁控濺射靶大面積生產(chǎn)氧化銦錫(ITO)膜,并對(duì)其主要工藝參數(shù)介紹了一些淺顯的看法。
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