格式:pdf
大小:456KB
頁數(shù): 5頁
利用HFSS仿真軟件對一種基于電感耦合的新型磁芯螺線管微電感進行設計,并優(yōu)化得出其結構參數(shù),該電感尺寸為7 mm×6.6 mm×0.44 mm。利用Agilent E4294A射頻阻抗/材料分析儀對微機電系統(tǒng)(MEMS)工藝實現(xiàn)的該新型螺線管微電感進行了性能測試分析。測試結果表明:該電感在1 MHz~20 MHz頻率范圍內(nèi)保持較高的電感值和品質(zhì)因數(shù)Q,測試結果與仿真結果較好的吻合,電感值是相同幾何結構參數(shù)下空心電感的16倍以上,在10 MHz頻率時,微電感的電感值為1.17μH,Q值達到50。