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各類真空泵原理概述大全 真空泵是用各種方法在某一封閉空間中產(chǎn)生、 改善和維持真空的裝置。 真空泵可以定義為: 利用機(jī)械、 物理、化學(xué)或物理化學(xué)的方法對(duì)被抽容器進(jìn)行抽氣而獲得真空的器件或設(shè)備。隨著真空應(yīng)用的發(fā)展, 真空泵的種類已發(fā)展了很多種,其抽速從每秒零點(diǎn)幾升到每秒幾十萬、數(shù)百萬升。極限壓力 (極限真 空 )從粗真空到 10-12 Pa以上的極高真空范圍。 真空區(qū)域的劃分 粗真空 105~103Pa 低真空 103~10-1 Pa 高真空 10-1~10-6Pa 超高真空 10-6~10-10 Pa 極高真空 <10-10 Pa 真空泵的分類 按真空泵的工作原理,真空泵基本上可以分為兩種類型,即變?nèi)菡婵毡煤蛣?dòng)量傳輸泵。 變?nèi)菡婵毡檬抢帽们蝗莘e的周期變化來完成吸氣和排氣以達(dá)到抽氣目的的真空泵。 氣體在排出泵腔 前被壓縮。 動(dòng)量傳輸泵(分子真空泵)依靠高速旋轉(zhuǎn)的葉片或高速射流,把動(dòng)量傳輸給氣
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