埋柵型靜電感應(yīng)器件研制中的外延技術(shù)
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對電力埋柵型靜電感應(yīng)晶體管關(guān)鍵工藝外延進(jìn)行了深入研究,提出了在低阻p型襯底上制備高阻n型外延層的工藝方法,使外延層的方塊電阻達(dá)到40000Ω/□。實驗證明,該方法能有效抑制自摻雜效應(yīng)和擴(kuò)散效應(yīng),避免了外延過程中可能出現(xiàn)的反型。研制的電力埋柵型靜電感應(yīng)晶體管I-V特性良好、柵源擊穿電壓達(dá)到70V,阻斷電壓達(dá)到600V。
大便器水箱一直流水
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