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玻璃網(wǎng)格板是一種相互垂直的縱、橫刻線的二維線紋標(biāo)準(zhǔn)器,用來檢測(cè)航測(cè)儀器、遙感儀器和各類二維坐標(biāo)測(cè)量?jī)x器的精度,因此,它的精度直接影響待檢儀器的精度。結(jié)合計(jì)量圓光柵的制作工藝,詳細(xì)介紹了基于光刻膠的玻璃網(wǎng)格板新型制作工藝,檢驗(yàn)結(jié)果表明該種工藝制作的玻璃網(wǎng)格板線條均勻,280mm內(nèi)刻線間距精度小于1μm。
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