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小型共面接口壓差傳感器是一種壓力傳感器,該傳感器主要用于測(cè)量和控制兩個(gè)油路壓力差。該產(chǎn)品采用SOI硅晶圓材料制作硅壓阻式壓力敏感芯片,敏感元件的工作溫度范圍為-55~300℃,通過雙芯體結(jié)構(gòu)將油路的壓力差信號(hào)轉(zhuǎn)換成電信號(hào),再利用精密的信號(hào)處理電路,將微弱的電信號(hào)進(jìn)行放大處理,實(shí)現(xiàn)標(biāo)準(zhǔn)的模擬信號(hào)輸出。
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