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文章編號 :1005-6122(2011)02-0084-04 五位 RF MEMS 開關延遲線移相器 * 金 鈴 (南京電子技術研究所 ,南京 210013) 摘 要: 設計并研制了一種 6 ~11GHz、超寬帶 5 位 RF MEMS 開關延遲線移相器 ,器件實現了 5 位延遲 :λ、 2λ、4λ、8λ、16λ。該器件采用微帶混合介質多層板技術 ,分 4層制作 ,尺寸為 45mm×20 mm。整個器件包括 20個 RF MEMS懸臂梁開關 ,用 60 ~75V 的靜電壓驅動 。6 ~11GHz 頻帶內 ,對 32 個相移態(tài)的測試結果表明 :一般回波損耗 S11 <-10dB,各狀態(tài)平均插入損耗為 -8 ~-10dB;中心頻率處 ,器件可實現的最大延遲位時延為 1680ps,總時延為 3255ps。 關鍵詞 : 開關延遲線移相器 ,微機電系統(tǒng) (MEMS),懸臂梁開關 ,微波混合介質多層