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以鈦金屬為靶材、以錦綸織物為基體,通過改變?yōu)R射時間,濺射功率和濺射氣壓,制備出鈦金屬鍍膜錦綸織物試樣,然后進行摩擦試驗.采用掃描設(shè)備獲得了織物摩擦前后的圖像,利用軟件neoimaging測試織物組織點處的亮度,以相對亮度的變化反映鍍膜的磨損.研究表明:隨著濺射時間和濺射功率的增加,鍍膜的耐磨性提高;較為合適的濺射氣壓是0.5~3 Pa,濺射氣壓過高,耐磨性反而降低.
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近年來,各種工業(yè)生產(chǎn)規(guī)模的玻璃基片大平面磁控濺射生產(chǎn)線發(fā)展迅速,令人關(guān)注。本文針對這一領(lǐng)域,就主要膜系開發(fā)、設(shè)備結(jié)構(gòu)、工藝、存在的問題及最新發(fā)展做了簡單的歸納和介紹。
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