超高精度機床

數(shù)控機床的定位精度，是指所測機床運動部件在數(shù)控系統(tǒng)控制下運動時所能達到的位置精度。該精度與機床的幾何精度一樣，會對機床切削精度產生重要影響，特別會影響到孔隙加工時的孔距誤差。

目前通常采用的數(shù)控機床位置精度標準是ISO230-2標準和國標GB10931-89。

測量直線運動的檢測工具有:標準長度刻線尺、成組塊規(guī)、測微儀、光學讀數(shù)顯微鏡及雙頻激光干涉儀等。標準長度測量以雙頻激光干涉儀的測量結果為準?；剞D運動檢測工具有360齒精密分度的標準轉臺或角度多面體、高精度圓光柵和平行光管等。目前通用的檢測儀為雙頻激光干涉儀。

2.1 檢測方法(用雙頻激光干涉儀時)

(1)安裝與調節(jié)雙頻激光干涉儀。

(2)預熱激光儀，然后輸入測量參數(shù)。

(3)在機床處于運動狀態(tài)下對機床的定位精度進行測量。

(4)輸出數(shù)據(jù)處理結果。

2.2 檢測時的注意事項:

(1)儀器在使用前應精確校正。

(2)螺距誤差補償，應在機床幾何精度調整結束后再進行，以減少幾何精度對定位精度的影響。

(3)進行螺距誤差補償時應使用高精度的檢測儀器(如激光干涉儀)，以便先測量再補償，補償后還應再測量，并應按相應的分析標準(VDI3441、JIS6330或GB10931-89)對測量數(shù)據(jù)進行分析，直到達到機床的定位精度要求。

(4)機床的螺距誤差補償方式包括線性軸補償和旋轉軸補償這兩種方式，可對直線軸和旋轉工作臺的定位精度分別補償。