電子工業(yè)用氣體：氫文摘

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4.7.2檢測限

儀器檢測限的體積分?jǐn)?shù)：0.05×10—6。

4.7.3允許采用其他等效的方法測定氫中水分含量。當(dāng)測定結(jié)果有異議時(shí)，以光腔衰蕩光譜法為仲裁方法。

5標(biāo)志、包裝、貯運(yùn)及安全

5.1 標(biāo)志、包裝及貯運(yùn)

5.1.1氫氣瓶應(yīng)符合GB 5099的規(guī)定，氣瓶顏色標(biāo)記應(yīng)符合GB 7144的規(guī)定。運(yùn)輸時(shí)，氫氣瓶上應(yīng)附有GB 190—2009中第3章指定的標(biāo)志。

5.1.2推薦使用經(jīng)過內(nèi)表面處理的氣瓶，氣瓶內(nèi)表面應(yīng)滿足本標(biāo)準(zhǔn)對(duì)于水分和顆粒的要求。瓶閥推薦使用CGA350、DISS724。

5.1.3應(yīng)妥善處理氣瓶瓶口。

5.1.4包裝容器上應(yīng)標(biāo)明“電子氫”字樣。

5.1.5瓶裝氫應(yīng)符合GB 14194以及《氣瓶安全監(jiān)察規(guī)程》的相關(guān)規(guī)定。

5.1.6管道輸送的氫應(yīng)符合《壓力管道安全管理與監(jiān)察規(guī)定》。

5.1.7瓶裝氫的成品壓力應(yīng)不低于氣瓶公稱工作壓力的90%。用于測量的壓力表精度不低于2.5級(jí)。氫氣在20℃、101.3 kPa狀態(tài)下的體積計(jì)算按GB/T 3634.1的規(guī)定。

5.1.8返廠氫氣鋼瓶的余壓不應(yīng)低于0.2 MPa。余壓不符合要求的氣瓶，水壓試驗(yàn)后的氣瓶以及新氣瓶等在充裝前應(yīng)按規(guī)定要求進(jìn)行加熱、抽空和置換。

5.1.9氫氣出廠時(shí)應(yīng)附有質(zhì)量合格證，其內(nèi)容至少應(yīng)包括：

——產(chǎn)品名稱，生產(chǎn)廠名稱，危險(xiǎn)化學(xué)品生產(chǎn)許可證編號(hào)；

——生產(chǎn)日期或批號(hào)，成品壓力，產(chǎn)品技術(shù)指標(biāo)；

——本標(biāo)準(zhǔn)標(biāo)準(zhǔn)號(hào)及產(chǎn)品等級(jí)，檢驗(yàn)員號(hào)。

《電子工業(yè)用氣體:氫(GB/T 16942-2009)》由中華人民共和國國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)檢疫總局，中國國家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì)發(fā)布。

中華人民共和國國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)檢疫總局 中國國家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì)

《電子工業(yè)用氣體:氫(GB/T 16942-2009)》由中華人民共和國國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)檢疫總局，中國國家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì)發(fā)布。

《電子工業(yè)用氣體:5N氯化氫(GB/T 24469-2009)》由中國標(biāo)準(zhǔn)出版社出版。2100433B

《電子工業(yè)用四氯化硅》（GB/T 38867-2020）的發(fā)布實(shí)施，填補(bǔ)了中國電子工業(yè)用四氯化硅氣體的標(biāo)準(zhǔn)空白，有利于提高中國自主生產(chǎn)電子工業(yè)用氣體的能力，促進(jìn)先進(jìn)半導(dǎo)體材料制造業(yè)的迅速發(fā)展，提供技術(shù)依據(jù)和可靠保障，對(duì)有效提高企業(yè)標(biāo)準(zhǔn)話語權(quán)和知名度、提升企業(yè)核心競爭力也具有十分重要的意義。

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氮?dú)饧兓b置來的高純氮?dú)饧凹兓蟮陌狈纸鈿夥謩e通過閥門調(diào)節(jié)、流量計(jì)計(jì)量后進(jìn)入混合罐，形成生產(chǎn)線所需的保護(hù)氣氛，并根據(jù)生產(chǎn)需要控制氮、氫比例，適應(yīng)不同的共況需要。