中文名 | 感應(yīng)耦合等離子刻蝕系統(tǒng) | 產(chǎn)????地 | 英國 |
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學(xué)科領(lǐng)域 | 物理學(xué) | 啟用日期 | 2015年12月25日 |
刻蝕三五半導(dǎo)體。
六路帶MFC(非腐蝕性氣體)和截止閥的氣路Ar,,O2(大流量), CF4,,N2, SF6,O2(小流量), 二路帶MFC和旁路設(shè)計(jì):CH4,H2 四路帶MFC、旁路設(shè)計(jì)(腐蝕性氣體)和截止閥的氣路推薦氣體:Cl2,SiCl4,BCl3,HBr。
鋼研納克光譜分析儀器還不錯(cuò)的哦,我們研究所一直用的是他們的火花直讀光譜儀,一體式透鏡隔離閥,可防止因日常維護(hù)導(dǎo)致的光室污染影響強(qiáng)度下降,透鏡易于更換。
您好,這個(gè)提問大至可以這樣理解: 1.概念:當(dāng)電離過程頻繁發(fā)生,使電子和離子的濃度達(dá)到一定的數(shù)值時(shí),物質(zhì)的狀態(tài)也就起了根本的變化,它的性質(zhì)也變得與氣體完全不同。為區(qū)別于固體、液體和氣體這三種狀態(tài),我們...
光譜儀可以分為兩大類:經(jīng)典光譜儀和新型光譜儀。經(jīng)典光譜儀器是建立在空間色散原理上的儀器:新型光譜儀器是建立在調(diào)制原理上的儀器.經(jīng)典光譜儀器都是狹縫光譜儀器。北京鋼研納克已獲得金屬材料表征北京市重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)...
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TEGAL421 等離子刻蝕機(jī)射頻電源的維 修及調(diào)整 TEGAL421 等離子刻蝕機(jī)射頻電源的電路圖如下: 各部分電路的作用, DC Power Supply Board 板是一塊電源板提供射頻源 工作所需的各路電源,包括電子管工作的高低壓。 OSICLACTOR Board 板提供 射頻源的激勵(lì)信號(hào), Q1是震蕩管,Q4是推動(dòng)管,Q3,Q2組成脈寬功率調(diào)節(jié)電路。 V1和 V2是兩個(gè)輸出電子管,提供所需的射頻功率。其中 Lv 是低壓變壓器,機(jī) 器一通電,該變壓器就被通電。而 BV 是高壓變壓器,只有在需要射頻輸出時(shí)才 被通電。 Power Coupler 是入射功率和反射功率檢測模塊。主機(jī)背面的電位器 R5 和 R6 用于矯正入射和反射功率的偏差。 Test Port 測試端口用于檢測射頻電 源的工作參數(shù)。 射頻電源的調(diào)整 射頻電源調(diào)整的步驟如下: 1. 關(guān)閉交流電源。 2. 移除射頻電源
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等離子體刻蝕過程中有害氣體凈化的原理和方法——敘述了等離子體刻蝕過程中產(chǎn)生的有害氣體以及處理這些有害氣體的原理和方法。對(duì)燃燒分解、化學(xué)中和、 薄膜吸氣、等離子體凈化及脈沖電暈放電等作了簡要的概述。指出等離子體凈化和脈沖電暈放電是凈化有害氣體的...
遙耦合系統(tǒng)的典型作用距離可以達(dá)到1m。遙耦合系統(tǒng)又可細(xì)分為近耦合系統(tǒng)(典型作用距離為15cm)與疏耦合系統(tǒng)(典型作用距離為1m)兩類。遙耦合系統(tǒng)利用的是射頻標(biāo)簽與讀寫器天線無功近場區(qū)之間的電感耦合(閉合磁路)構(gòu)成無接觸的空間信息傳輸射頻通道工作的。遙耦合系統(tǒng)的典型工作頻率為13.56MHz,也有一些其他頻率,如6.75MHz、27.125MHz等。遙耦合系統(tǒng)目前仍然是低成本射頻識(shí)別系統(tǒng)的主流。
尼古拉·特斯拉認(rèn)為通過特斯拉線圈無線供電。但它沒有成功。
1978年,美國發(fā)明家約翰·喬治·博格爾試圖提供電動(dòng)汽車。
1989年,八電子提出了與WiTricity的磁耦合諧振原理完全相同的電路。
1993年,日本大福公司實(shí)現(xiàn)了世界上第一起非接觸式供電和輸送系統(tǒng)基于奧克蘭大學(xué)約翰·博伊斯理論的。
1994年,村田制造公司的開發(fā)商宣布“磁耦合諧振技術(shù)”。
2006年11月,麻省理工學(xué)院(MIT)的馬林·索爾賈??顺晒α?米傳輸實(shí)驗(yàn)。
2010年7月,國際標(biāo)準(zhǔn)“Qi”由無線電力聯(lián)盟(WPC)制定。制定了5W或更小的移動(dòng)終端的標(biāo)準(zhǔn)。
密耦合系統(tǒng)的典型作用距離范圍從0~1cm。實(shí)際應(yīng)用中,通常需要將射頻標(biāo)簽插入閱讀器中或?qū)⑵浞胖玫阶x寫器的天線的表面。密耦合系統(tǒng)利用的是射頻標(biāo)簽與讀寫器天線無功近場區(qū)之間的電感耦合(閉合磁路)構(gòu)成無接觸的空間信息傳輸射頻通道工作的。密耦合系統(tǒng)的工作頻率一般局限在30MHz以下的任意頻率。由于密耦合方式的電磁泄露很小、耦合獲得的能量較大,因而可適合要求安全性較高,作用距離無要求的應(yīng)用系統(tǒng),如電子門鎖等。