MEMS材料與結構的靜、動態(tài)力學性能測試方法研究基本信息

運用現(xiàn)代光電子技術、遠距離顯微成象技術和計算機數(shù)字圖象處理技術，研究適用于微小試樣和微小結構力學性能檢測的實驗測試方法，建立可用于微機電系統(tǒng)（MEMS）結構與材料力學性能測試的實驗系統(tǒng)。為MEMS結構的優(yōu)化設計和MEMS材料的力學性能研究以及逐步建立MEMS結構的靜、動態(tài)力學特性測試規(guī)范提供可靠的實驗手段。 2100433B

國內的RF MEMS開關研究已經(jīng)有很大的進步，很多已報道的開關都具有很優(yōu)良的性能，但與國外的研究相比，在性能和可靠性上還有一定差距，并且在結構上還有些簡單，可靠性也有待提高，還有很多方面需要提高：

( 1) 由于電磁驅動的RF MEMS開關結構的特殊性，使得磁場分布不均勻，漏磁比較多，必須研究優(yōu)化電磁系統(tǒng)的結構的方法以減小功耗和提高驅動力。

( 2) 為了能滿足射頻器件集成化和微型化的要求，電磁驅動RF MEMS開關需要制作更小尺寸線圈。

( 3) 加快RF MEMS開關可靠性研究，金屬接觸以及開關失效原因的研究是提高開關壽命有效途徑。

( 4) 封裝問題是MEMS產(chǎn)品實現(xiàn)商品化的前提，因為MEM S產(chǎn)品容易受周圍環(huán)境的影響，RF MEMS電路正常工作很大程度上取決于由封裝所提供的內部環(huán)境與保護。而有關MEMS封裝的研究還處于初級階段，MEMS器件的多樣性和非密封性往往需要為每種器件單獨開發(fā)相應的封裝技術，需要在不影響MEMS器件性能的前提下，為設計者提供一系列標準化的封裝技術。

混凝土是一種應用極其廣泛的工程建筑材料，一些重要的混凝土建筑物有可能承受變化劇烈的沖擊載荷，需要具備抗侵徹、抗層裂的能力。因此研究混凝土材料動態(tài)力學性能具有重要實用價值和軍事背景。然而，混凝土又是種組份十分復雜的硅酸鹽復合材料，骨料尺寸大，質地脆，均勻性差，材料內部存在著大量微空洞和微裂縫等損傷，它們都對混凝土材料的力學性能有重要影響。研究混凝土材料的動態(tài)力學性能，涉及到材料的本構關系，動態(tài)斷裂，損傷演化以及相關的實驗技術等方面的內容。因此本研究工作又具有十分重要的學術意義。.本項目將對混凝土材料的動態(tài)力學性能開展較為系統(tǒng)的實驗研究。試圖利用大尺寸SHPB對混凝土材料進行沖擊壓縮試驗，提出測量混凝土材料動態(tài)應力-應變關系的實驗新方法；并對混凝土材料的層裂現(xiàn)象和材料內部的損傷演化規(guī)律進行定量的實驗研究。 2100433B