寧波愛(ài)發(fā)科低溫泵有限公司

(1)低溫泵在獲取潔凈和無(wú)油真空方面，具有其他產(chǎn)品無(wú)法相比的優(yōu)勢(shì)。它可以作為研究其他真空泵對(duì)真空污染程度的標(biāo)準(zhǔn)；

(2)低溫泵在抽除水蒸汽和其他潮濕混合氣方面具有較大抽速；

(3)低溫泵在抽取輕重量分子方面也具有較大抽速；

(4)在要求大抽速的真空設(shè)備中，低溫泵是最經(jīng)濟(jì)的。商品化的低溫泵可以在很小的口徑下提供大的抽速

(5)低溫泵是基于低溫吸附而工作的，不需要其他電子材料，不會(huì)有波動(dòng)；

(6)在真空中無(wú)任何運(yùn)動(dòng)部件，高穩(wěn)定性，也不會(huì)帶來(lái)密封問(wèn)題；

(7)低溫泵的安裝無(wú)任何方向要求；

(8)低溫泵還可以進(jìn)行選擇性的抽取某種氣體。

吸附材料對(duì)低溫泵的工作性能具有較大的影響。單從真空獲得方面來(lái)說(shuō)，一臺(tái)無(wú)任何吸附劑的低溫泵或許也可以滿足要求。但是，一般情況下低溫泵是依靠液氦或制冷機(jī)而獲得低溫的，其最低溫度能達(dá)到4 K。而此時(shí)又需要低溫泵抽除氦氣，因?yàn)檎婵諜z漏會(huì)經(jīng)常用到氦氣。因此，低溫泵需要通過(guò)吸附材料來(lái)幫助其抽除氣體。另外，吸附材料在低溫下比無(wú)吸附材料的泠凝吸附可以得到更低的平衡壓力。低溫泵的工作方式是通過(guò)表面吸附而進(jìn)行的，表面積越大對(duì)低溫泵的工作性能越有利。因此，合適的吸附材料必須具有較大的比表面和吸附容量。對(duì)吸附材料進(jìn)行表征的物理量主要有：幾何形狀和顆粒大小分布；表面結(jié)構(gòu)；密度；比表面積；孔徑分布、孔容和平均孔徑大小等。研究低溫泵的吸附材料主要是通過(guò)以上參數(shù)的表征而進(jìn)行的 。

低溫泵分為注入式液氦低溫泵和閉路循環(huán)氣氦制冷機(jī)低溫泵兩種。

注入式液氦低溫泵

主要由液氦容器、泵體和連接擋板的液氮腔體等部分組成。為了減少液氦消耗，液氦容器的外壁采用雙層保溫壁并在其間抽成真空。當(dāng)泵被預(yù)抽到

閉路循環(huán)氣氦制冷機(jī)低溫泵

它是70年代出現(xiàn)的新型低溫泵。這種泵不消耗氦氣、操作簡(jiǎn)便，易于維修，應(yīng)用日漸廣泛。制冷機(jī)的制冷介質(zhì)為氣氦，一級(jí)冷板溫度為50～100K，典型應(yīng)用是65K,用來(lái)冷凝水蒸汽和預(yù)冷其他氣體;二級(jí)冷板溫度為10～20K，用來(lái)冷凝氮、氧和氬等氣體。在二級(jí)冷板的內(nèi)表面涂以活性炭?；钚蕴吭诘蜏叵聦?duì)氦、氖和氫有很強(qiáng)的吸附能力。冷板由無(wú)氧銅制成，表面拋光達(dá)到鏡面程度，以減小輻射系數(shù)。泵的極限壓力為