真空技術(shù)滑閥真空泵

備案信息

備案號：74797-2020

備案月報： 2020年第8號(總第244號) 2100433B

偏心輪在泵腔內(nèi)作回轉(zhuǎn)運動﹐使由滑環(huán)和滑桿分隔的兩個工作室容積作周期性變化以實現(xiàn)抽氣的真空泵。滑閥真空泵主要由泵體﹑滑環(huán)﹑偏心輪﹑轉(zhuǎn)動軸和滑桿組成?；y真空泵的工作原理 為滑閥真空泵的工作原理﹐滑閥真空泵的工作原理 表示工作循環(huán)。轉(zhuǎn)動軸的軸心與泵腔中心重合。在滑環(huán)上固定的長方形滑桿﹐能在裝于泵體中的滑動導(dǎo)軌中上下滑動和左右擺動。泵腔被滑環(huán)和滑桿分隔成A﹑B兩個工作室。偏心輪逆時針方向旋轉(zhuǎn)時﹐B室容積逐漸減小﹐吸入的氣體逐漸被壓縮﹐壓力逐漸增高。同時﹐A室容積則逐漸擴大﹐其中的氣體壓力不斷降低﹐被抽氣體便從滑桿的腔孔源源不斷地從吸氣口吸入A室。當(dāng)B室氣體壓力上升到高于大氣壓力時﹐便推開排氣閥排入大氣﹔而A室容積則達到最大值﹐這時吸氣終了﹐從而完成一個工作循環(huán)。偏心輪連續(xù)不斷地旋轉(zhuǎn)﹐氣體便不斷地被吸入﹑壓縮和排出而達到連續(xù)抽氣的目的。在泵腔內(nèi)各相對運動件表面間有油膜密封﹐所以這種真空泵是一種油封式機械真空泵?；y真空泵極限壓力﹕單級泵為0.4帕﹐雙級泵為0.065帕﹔工作壓力范圍為1×105～13帕﹔抽速范圍為8～600升/秒(1升=10-3米3)?；y真空泵可單獨作用或作為真空機組的前級泵。如安裝氣鎮(zhèn)閥﹐可抽含有少量可凝性蒸汽的氣體。滑閥真空泵在真空冶煉﹑真空干燥﹑真空浸漬和真空蒸餾等方面都得到廣泛應(yīng)用。2100433B

這種技術(shù)手段生產(chǎn)的不銹鋼真空器皿，具有以下特點：

無尾真空技術(shù)保溫時間長

由于是在近1000℃條件下抽真空和封焊，此時其真空度與有尾真空相同的話，當(dāng)產(chǎn)品回到常溫時，其真空度就要比“有尾真空”高得多。

無尾真空技術(shù)有效容量大

由于不存在“有尾真空”那樣的老鼠尾巴，不需要設(shè)置一個“藏尾室”，所以有效空間大。與“有尾真空”同等外觀體積的產(chǎn)品相比，“無尾真空”產(chǎn)品內(nèi)部有效空間要大得多。

無尾真空技術(shù)使用壽命長

“有尾真空”采用的是“壓封技術(shù)”，這種技術(shù)措施在微觀上是不能完全保證密閉的。而“無尾真空”采用的是“熔封技術(shù)”，這種技術(shù)使焊料高溫熔化并把抽氣孔封焊密閉，所以可以保證長期不放氣不漏氣。整體抽氣—“無尾真空”的設(shè)備屬大型設(shè)備，自動化程度高，產(chǎn)品質(zhì)量水平高，故造價也昂貴。而且管理和使用技術(shù)復(fù)雜，不易掌握，單件產(chǎn)品電耗高于“有尾真空”數(shù)倍，故國內(nèi)只有少數(shù)幾家企業(yè)完全掌握和使用這項技術(shù)。然而，由于技術(shù)水平高等特點，必定成為不銹鋼真空器皿生產(chǎn)技術(shù)的發(fā)展方向和消費追求產(chǎn)品的技術(shù)條件。

滑閥泵由于其結(jié)構(gòu)特點，容量比旋片泵大得多，因此常常被用在大型真空設(shè)備上?；y泵有單級和雙級兩種型式。單級泵的極限壓力對小泵≤0.6Pa，對大泵≤1.3Pa（均關(guān)氣鎮(zhèn)），雙級泵的極限壓力≤0.06Pa（關(guān)氣鎮(zhèn)）。雙極2H滑閥真空泵最大抽速為300L/S。

由于滑閥泵的旋轉(zhuǎn)質(zhì)量有較大的偏心，如果滑閥沒有很好的質(zhì)量平衡，在運轉(zhuǎn)時會產(chǎn)生較大的振動。但泵旋轉(zhuǎn)質(zhì)心的運動軌跡是形狀復(fù)雜的封閉曲線，因此小廠很難實現(xiàn)對滑閥泵慣性力的完全平衡?？梢酝ㄟ^動平衡測試和雙缸或三缸結(jié)構(gòu)做好滑閥的質(zhì)量平衡。