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更新時間:2025.01.04
氮氣氛下直拉硅棒的機械強度分布

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頁數: 4頁

用測試抗彎強度的方法測定了氮氣氛下直拉硅(NCZ-Si)棒軸向機械強度分布。與紅外分析結果比較表明,含氮 CZ-Si 中 N-N 對的濃度對硅棒強度分布起著比間隙氧更重要的作用。碳濃度達2×10~(17)cm(-3)時,對硅棒強度無顯著影響。

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用測試抗彎強度的方法測定了氮氣氛下直拉硅(NCZ-Si)棒軸向機械強度分布。與紅外分析結果比較表明,含氮 CZ-Si 中 N-N 對的濃度對硅棒強度分布起著比間隙氧更重要的作用。碳濃度達2×10~(17)cm(-3)時,對硅棒強度無顯著影響。

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