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隨著半導(dǎo)體工業(yè)的飛速發(fā)展，化學(xué)機(jī)械拋光（CMP）漸成為集成電路制造中的一項(xiàng)關(guān)鍵工藝，其中拋光液是化學(xué)機(jī)械拋光過程中重要的消耗品，長期以來國內(nèi)主要硅材料廠及半導(dǎo)體元件廠依賴進(jìn)口產(chǎn)品，不僅價(jià)格昂貴，而且受制于人。中科院上海微系統(tǒng)所納米技術(shù)研究室CMP小組開展了“納米拋光液產(chǎn)業(yè)化關(guān)鍵技術(shù)”研究，
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為了解決在化學(xué)機(jī)械拋光過程中拋光接觸區(qū)域內(nèi)拋光液的分布均勻性問題,基于生物學(xué)的葉序理論,設(shè)計(jì)葵花籽粒結(jié)構(gòu)的仿生拋光墊,建立化學(xué)機(jī)械拋光拋光液流場的運(yùn)動方程和邊界條件,利用流體力學(xué)軟件(Fluent)對拋光液的流動狀態(tài)進(jìn)行仿真,并獲得葉序參數(shù)對拋光液流動狀態(tài)的影響規(guī)律。結(jié)果表明:拋光液在基于葵花籽粒的仿生拋光墊的流動是均勻的,拋光液沿著逆時(shí)針和順時(shí)針葉列斜線溝槽流動,有利于流體向四周發(fā)散。
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