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聲表面波工藝原理 第一章 清洗工藝原理 Page 1 of 5 一，聲表器件清洗工藝原理 序： 聲表器件制作工藝中的清洗技術(shù)及潔凈度是影響器件合格率、 器件性能和可靠性的重要因 素。雜質(zhì)污染主要來源于晶片加工過程、環(huán)境污染、水（包括純水）污染、試劑污染、工藝 氣體污染、生產(chǎn)用設備、器皿、工具及易耗品污染、人體污染和工藝過程造成的污染。由于 表面污染是通過污染物與表面間的作用力引起（主要是化學力和分子間力） ，清洗就是為破 壞這種作用力，除去由上述污染源所帶來的有機物、微粒、金屬原子（離子）及微粗糙。 （一）對基片表面的清洗： 由于有機物會遮蓋部分基片表面，影響對微粒和金屬的清洗，所以清洗的一般思路是： 先除去表面的有機污染，然后再去除微粒和金屬雜質(zhì)。 1，對有機物的清洗： 基片上的有機污染主要有油膜、 殘余的蠟膜膠膜、 不純有機溶劑揮發(fā)后的殘膜， 以及微生 物的有機殘渣、 手油等。 這些雜
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mbr 工藝原理及優(yōu)缺點 MBR 工藝簡介 MBR 工藝體現(xiàn)的是“治理、回用” 的節(jié)水理念。 MBR 膜生物 反應器（ Membrane Bioreactor）工藝是傳統(tǒng)的生物處理工藝和膜分離技術(shù)相結(jié)合發(fā)展起來 的。MBR 工藝由生物處理和膜處理兩部分組成。 生物處理部分包括缺氧池、好氧池；膜處理部分包括膜池。 MBR 膜分離技術(shù)采用超濾法， 取代傳統(tǒng)生物處理沉淀池，固液分離效果好，為解決回用水質(zhì)問題提供了可靠保證。 MBR 工藝的工作原理首先通過活性污泥來去除水中可生物降解的有機污染物，然后采用 膜將凈化后的水和活性污泥進行固液分離。 中空纖維膜絲為管狀，管壁上有微孔，能夠截留住活性污泥以及絕大多數(shù)的懸浮物，出水 清澈透明。為使膜能夠長期連續(xù)穩(wěn)定的運行，在膜的下方要進行一定量的曝氣，這樣，既 滿足生物需氧量，又使膜絲不斷抖動，防止活性污泥附著在膜的表面造成污染。 MBR 工藝的分類膜生物
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