AlN/自持金剛石膜結(jié)構(gòu)高頻聲表面波濾波器的研制基本信息

聲表面波（SAW）濾波器正廣泛地應(yīng)用于軍事、民用等各個(gè)領(lǐng)域。隨著新一代通訊技術(shù)的高速發(fā)展，迫切需求高頻、高功率、低損耗SAW器件。為提高SAW濾波器的頻率，選用壓電薄膜配合高聲速基片材料是最重要和有效的解決途徑。本申請(qǐng)?zhí)岢龅腁lN壓電薄膜/自持金剛石厚膜基板結(jié)構(gòu)是人們可預(yù)期的能夠?qū)崿F(xiàn)最優(yōu)性能的結(jié)構(gòu)。AlN具有優(yōu)良的壓電性、較小的聲波損耗、高聲表面波傳播速度和較高的機(jī)電耦合系數(shù)。而金剛石是所有物質(zhì)中聲傳播速度最快的材料，還具有非常高的彈性模量、最高的導(dǎo)熱性和優(yōu)良的耐熱性。本申請(qǐng)?zhí)岢龅挠米猿纸饎偸衲ぷ龌牧希哂凶陨硗怀鎏厣?。?shí)現(xiàn)這樣結(jié)構(gòu)需要突破高品質(zhì)AlN壓電薄膜的制備和低成本、高速沉積金剛石厚膜兩個(gè)技術(shù)瓶頸。我們?cè)诮饎偸ず衲ひ约癆lN、GaN薄膜的制備與應(yīng)用領(lǐng)域積累了豐富的研究經(jīng)驗(yàn)，已解決了高品質(zhì)金剛石厚膜制備技術(shù)等關(guān)鍵難題。有這樣良好的工作基礎(chǔ)做保證，有信心能完成本器件的研制工作。 2100433B

自持轉(zhuǎn)速指啟動(dòng)過程中，燃?xì)廨啓C(jī)升速到無需外力就能維持旋轉(zhuǎn)的最低轉(zhuǎn)速。

中文名稱

自持轉(zhuǎn)速

英文名稱

self-sustaining speed

定　　義

啟動(dòng)過程中，燃?xì)廨啓C(jī)升速到無需外力就能維持旋轉(zhuǎn)的最低轉(zhuǎn)速。

應(yīng)用學(xué)科

電力（一級(jí)學(xué)科），汽輪機(jī)、燃?xì)廨啓C(jī)（二級(jí)學(xué)科）

類金剛石薄膜通常又被人們稱為DLC薄膜，是英文詞匯Diamond Like Carbon的簡稱，它是一類性質(zhì)近似于金剛石，具有高硬度.高電阻率.良好光學(xué)性能等，同時(shí)又具有自身獨(dú)特摩擦學(xué)特性的非晶碳薄膜。碳元素因碳原子和碳原子之間的不同結(jié)合方式，從而使其最終產(chǎn)生不同的物質(zhì)：金剛石（diamond）—碳碳以 sp3鍵的形式結(jié)合；石墨（graphite）—碳碳以sp2鍵的形式結(jié)合；而如同緒論里所述類金剛石（DLC）—碳碳則是以sp3和 sp2鍵的形式結(jié)合，生成的無定形碳的一種亞穩(wěn)定形態(tài)，它沒有嚴(yán)格的定義，可以包括很寬性質(zhì)范圍的非晶碳，因此兼具了金剛石和石墨的優(yōu)良特性；所以由類金剛石而來的DLC膜同樣是一種亞穩(wěn)態(tài)長程無序的非晶材料，碳原子間的鍵合方式是共價(jià)鍵，主要包含sp2和sp3兩種雜化鍵，而在含氫的DLC膜中還存在一定數(shù)量的C-H鍵。

由兩個(gè)相同或不相同的原子軌道沿軌道對(duì)稱軸方向相互重疊而形成的共價(jià)鍵，叫做σ鍵。σ鍵是原子軌道沿軸方向重疊而形成的，具有較大的重疊程度，因此σ鍵比較穩(wěn)定。σ鍵是能圍繞對(duì)稱軸旋轉(zhuǎn)，而不影響鍵的強(qiáng)度以及鍵跟鍵之間的角度（鍵角）。根據(jù)分子軌道理論，兩個(gè)原子軌道充分接近后，能通過原子軌道的線性組合，形成兩個(gè)分子軌道。其中，能量低于原來原子軌道的分子軌道叫成鍵軌道，能量高于原來原子軌道的分子軌道叫反鍵軌道。以核間軸為對(duì)稱軸的成鍵軌道叫σ軌道，相應(yīng)的鍵叫σ鍵。以核間軸為對(duì)稱軸的反鍵軌道叫σ*軌道，相應(yīng)的鍵叫σ*鍵。分子在基態(tài)時(shí)，構(gòu)成化學(xué)鍵的電子通常處在成鍵軌道中，而讓反鍵軌道空著。

σ鍵是共價(jià)鍵的一種。它具有如下特點(diǎn)：

第一點(diǎn)，σ鍵有方向性，兩個(gè)成鍵原子必須沿著對(duì)稱軸方向接近，才能達(dá)到最大重疊；第二點(diǎn)，成鍵電子云沿鍵軸對(duì)稱分布，兩端的原子可以沿軸自由旋轉(zhuǎn)而不改變電子云密度的分布；第三點(diǎn)，σ鍵是頭碰頭的重疊，與其它鍵相比，重疊程度大，鍵能大，因此，化學(xué)性質(zhì)穩(wěn)定。共價(jià)單鍵是σ鍵，共價(jià)雙鍵有一個(gè)σ鍵，π鍵，共價(jià)三鍵由一個(gè)σ鍵，兩個(gè)π鍵組成。

著名品牌ALN阿爾諾開關(guān)是以浙江為生產(chǎn)總部，上海設(shè)立銷售中心的國內(nèi)知名電工企業(yè)。以產(chǎn)品創(chuàng)新為核心理念，定位于高端市場的產(chǎn)品品牌，公司擁有強(qiáng)大的研發(fā)、制造能力，以及人力、資金優(yōu)勢(shì)，秉承“專著想象優(yōu)化生活”的品牌經(jīng)營理念，ALN阿爾諾將依靠產(chǎn)品自身的競爭優(yōu)勢(shì)和同行無法超越的創(chuàng)新速度，成為行業(yè)內(nèi)的領(lǐng)先者！這個(gè)品牌在全球很多國家都建有品牌專賣展示廳。在開關(guān)行業(yè)內(nèi)知名度非常高。