比長儀測量功能擴展系統(tǒng)技術(shù)指標(biāo)

非接觸瞄準(zhǔn)測量重復(fù)性20nm，接觸式瞄準(zhǔn)測量重復(fù)性0.2μm。

主要用于檢測線紋尺、光柵尺、容柵尺、以及激光干涉儀等一維線紋標(biāo)準(zhǔn)器及量塊、步距規(guī)等一維端面標(biāo)準(zhǔn)器。

比長儀是以不接觸光學(xué)定位方法瞄準(zhǔn)被測長度，主要用于測量線紋距離的精密長度測量工具。

比長儀一般采用測量顯微鏡或光電顯微鏡作為瞄準(zhǔn)定位部件，并以精密線紋尺的刻度或光波波長作為已知長度，與被測長度比較而確定量值。比長儀主要用于檢定線紋尺，測量分劃板上的線距和物理、天文類照相底片上的光波譜線距離，也可用于測量孔徑。

比長儀按結(jié)構(gòu)布局分為縱向的和橫向的兩類?？v向比長儀采用線紋尺作為已知長度，且結(jié)構(gòu)設(shè)計符合阿貝原則，稱為阿貝比長儀。測量時,先用測量顯微鏡瞄準(zhǔn)被測線條，從讀數(shù)顯微鏡讀得一數(shù)值。然后移動工作臺，再用測量顯微鏡瞄準(zhǔn)另一被測線條，從讀數(shù)顯微鏡讀得另一數(shù)值。這兩個數(shù)值之差即是被測兩線條間距離。

橫向比長儀的被測長度和已知長度是并列布置的，這種布局可以縮短導(dǎo)軌長度，但要求導(dǎo)軌精度高。采用愛賓斯坦光學(xué)系統(tǒng),可以補償結(jié)構(gòu)不符合阿貝原則而產(chǎn)生的測量誤差。以光電顯微鏡代替上述兩種顯微鏡者，稱為光電比長儀；采用激光或其他單色光波長作為已知長度者，分別稱為激光比長儀和光電光波比長儀。阿貝比長儀的測量精確度為±1～±1.5微米/200毫米，光電比長儀可達(dá)到±0.5微米/1000毫米，而光電光波比長儀和激光比長儀則可達(dá)到±0.2微米/1000毫米。