干涉比長儀

用激光干涉儀系統(tǒng)進行精確的線性測量 — 最佳操作及實踐經(jīng)驗 1 簡介 本文描述的最佳操作步驟及實踐經(jīng)驗主要針對使用激光干涉儀校準(zhǔn)機床如車床、銑床以及 坐標(biāo)測量機的線性精度。但是，文中描述的一般原則適用于所有情況。與激光測量方法相 關(guān)的其它項目，如角度、平面度、直線度和平行度測量不包括在內(nèi)，用于實現(xiàn) 0.1 微米即 0.1 ppm 以下的短距離精度測量的特殊方法（如真空操作）也不包括在內(nèi)。 微米是極小的距離測量單位。（ 1 微米比一根頭發(fā)的 1/25 還細(xì)。由于太細(xì)，所以肉眼無 法看到，接近于傳統(tǒng)光學(xué)顯微鏡的極限值）?？蓪崿F(xiàn)微米級及更高分辨率的數(shù)顯表的廣泛 使用，為用戶提供了令人滿意的測量精度。盡管測量值在小數(shù)點后有很多位數(shù)，但并不表 明都很精確。（在許多情況下精度比顯示的分辨率低 10-100 倍）。實現(xiàn) 1 微米的測量分 辨率很容易，但要得到 1 微米的測量精度需要特別注意一些細(xì)節(jié)。本文

SJ6000激光干涉儀產(chǎn)品采用美國進口高穩(wěn)頻氦氖激光器、激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù)、高 精度環(huán)境補償模塊、 幾何參量干涉光路設(shè)計、 高精度激光干涉信號處理系統(tǒng)、 高性能計算機 控制系統(tǒng)技術(shù)，實現(xiàn)各種參數(shù)的高精度測量。通過激光熱穩(wěn)頻控制技術(shù)，實現(xiàn)快速 (約 6 分 鐘)、高精度 (0.05ppm)、抗干擾能力強、長期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出，采用不同的光學(xué)鏡 組可以測量出線性、角度、直線度、平面度和垂直度等幾何量，并且可以進行動態(tài)分析。 SJ6000 激光干涉儀產(chǎn)品具有測量精度高、測量速度快、最高測速下分辨率高、測量范 圍大等優(yōu)點。通過與不同的光學(xué)組件結(jié)合，可以實現(xiàn)對直線度、垂直度、角度、平面度、平 行度等多種幾何精度的測量。在相關(guān)軟件的配合下，還可以對數(shù)控機床進行動態(tài)性能檢測， 可以進行機床振動測試與分析， 滾珠絲桿的動態(tài)特性分析， 驅(qū)動系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析， 導(dǎo)軌 的動態(tài)特性分析等，具有極高的精度