超高真空鍍膜機(jī)

制備高質(zhì)量超薄金屬薄膜，如0.3nm厚的鈷。 2100433B

本底真空度：優(yōu)于1.0×10-10Torr，最高加熱溫度：800 ℃。

真空鍍膜機(jī)操作程序具體操作時請參照該設(shè)備說明書

和設(shè)備上儀表盤指針顯示及各旋鈕下的標(biāo)注說明。

① 檢查真空鍍膜機(jī)各操作控制開關(guān)是否在"關(guān)"位置。

② 打開總電源開關(guān)，設(shè)備送電。

③ 低壓閥拉出。開充氣閥，聽不到氣流聲后，啟動升鐘罩閥，鐘罩升起。

④ 安裝固定鎢螺旋加熱子。把PVDF薄膜和鋁蓋板固定在轉(zhuǎn)動圓盤上。把鋁絲穿放在螺旋加熱子內(nèi)。清理鐘罩內(nèi)各部位，保證無任何雜質(zhì)污物。

⑤ 落下鐘罩。

⑥ 啟動抽真空機(jī)械泵。

⑦ 開復(fù)合真空計電源（復(fù)合真空計型號：Fzh-1A)。

a.左旋鈕“1”順時針旋轉(zhuǎn)至指向2區(qū)段的加熱位置。

b.低真空表“2”內(nèi)指針順時針移動，當(dāng)指針移動至110mA時，左旋鈕"1"旋轉(zhuǎn)至指向2區(qū)段測量位置。

⑧ 當(dāng)?shù)驼婵毡怼?”內(nèi)指針再次順時針移動至6.7Pa時，低壓閥推入。這時左旋鈕“1”旋轉(zhuǎn)至指向1區(qū)段測量位置。

⑨ 真空鍍膜機(jī)開通冷卻水，啟動擴(kuò)散泵，加熱40min。

⑩ 低壓閥拉出。重復(fù)一次⑦動作程序：左下旋鈕“1”轉(zhuǎn)至指向2區(qū)段測量位置。低真空表“2”內(nèi)指針順時針移動，當(dāng)指針移動至6.7Pa時，開高壓閥（閥桿順時針旋轉(zhuǎn)）。

? 等低真空表“2”內(nèi)指針右移動至0.1Pa時，開規(guī)管燈絲開關(guān)。

a. 發(fā)射、零點(diǎn)測量鈕“9”旋轉(zhuǎn)至指向發(fā)射位置。

b. 左下旋鈕“1”旋轉(zhuǎn)至指向1區(qū)段測量位置。

? 旋轉(zhuǎn)發(fā)射調(diào)節(jié)鈕“4”，使高壓真空表“5”內(nèi)指針指向5。

? 發(fā)射、零點(diǎn)、測量旋鈕“9”旋轉(zhuǎn)至指向零點(diǎn)位置。

? 旋轉(zhuǎn)零點(diǎn)調(diào)節(jié)鈕“10”，讓高壓真空表“5”內(nèi)指針指向0位置。

? 發(fā)射、零點(diǎn)、測量旋鈕“9”旋轉(zhuǎn)至指向測量位置。

? 旋轉(zhuǎn)標(biāo)準(zhǔn)調(diào)節(jié)鈕“3”，讓高壓真空表“5”內(nèi)指針指向10。

? 旋轉(zhuǎn)“倍加器”開關(guān)鈕“8”至指向10-12，當(dāng)高壓真空表“5”內(nèi)指針逆時針左移超過1時，再把“倍加器”開關(guān)旋鈕“8”旋轉(zhuǎn)至指向10-3。

? 當(dāng)高壓真空表“5”內(nèi)指針逆時針移動超過6.7Pa時，開工件旋轉(zhuǎn)鈕開關(guān)，鐘罩內(nèi)被鍍件PVDF膜轉(zhuǎn)動。

? 開蒸發(fā)鈕開關(guān)。把電流分插塞插入蒸發(fā)電極分配孔內(nèi)（設(shè)有1、 2、 3、 4孔，可插入任意一孔）。

? 右手旋轉(zhuǎn)右側(cè)調(diào)壓器手輪，慢慢旋轉(zhuǎn)升壓。

a. 從視鏡窗口觀察鎢螺旋加熱子的加熱溫度顏色變化情況。

b. 當(dāng)鎢螺旋加熱子顏色變成黃橙色，鋁絲開始熔化時，左手操作擋板鈕，移開鎢螺旋上方擋板。

c. 鋁絲全部熔化蒸發(fā)，擋板回原位。

d. 右手旋轉(zhuǎn)調(diào)壓器手輪回零位。第一次蒸鍍工作完成。

21. 如果再想蒸鍍一次（為了增加電極金屬層厚度）：把電流分插塞撥出插入另一個電極分配孔。重復(fù)?操作動作。

22. 關(guān)閉規(guī)管燈絲開關(guān)。關(guān)閉高壓閥（逆時針轉(zhuǎn)手柄）。關(guān)閉工件旋轉(zhuǎn)。關(guān)閉蒸發(fā)。旋轉(zhuǎn)機(jī)械泵鈕至指向擴(kuò)散泵位置。

23. 低壓閥拉出。鐘罩充氣。充氣一段時間，當(dāng)沒有氣.聲時，升鐘罩。

24. 鎢螺旋加熱子內(nèi)加鋁絲。PVDF薄膜調(diào)換另一面向下 （原下面已鍍一層鋁膜面向上）。緊固在轉(zhuǎn)動圓盤上。

25. 落鐘罩。開機(jī)械泵。

a. 左下旋鈕“1”旋轉(zhuǎn)至指向2區(qū)段測量位置。

b. 當(dāng)?shù)蛪赫婵毡怼?”內(nèi)指針順時針移動到6.7Pa時，低壓閥推入。

c. 左下旋鈕“1”旋轉(zhuǎn)至指向1區(qū)段測量位置。

d. 當(dāng)?shù)蛪赫婵毡怼?”內(nèi)指針順時針移動到6.7Pa時，開高壓閥。旋鈕“1”旋轉(zhuǎn)至指向2區(qū)段測量位置。

e. 當(dāng)?shù)蛪赫婵毡怼?”內(nèi)指針順時針移動到指向0.1Pa時，開規(guī)管燈絲。

f. 由?開始重復(fù)操作至? 。

26. PVDF薄膜蒸鍍完鋁層后，按順序關(guān)閉規(guī)管燈絲、高壓閥、機(jī)械泵、擴(kuò)散泵。把低壓閥拉出。鐘罩充氣，充氣完畢后升鐘罩。取出工件，做好鐘罩內(nèi)清理工作。

a. 落下鐘罩。

b. 開機(jī)械泵，抽3~5min，停機(jī)械泵。

c. 切斷供電總開關(guān)。

d. 1h后再關(guān)閉冷卻水。操作全部完成。

27. 正常生產(chǎn)中，如遇到突然停電時，要立即切斷高真空測量，關(guān)閉規(guī)管燈絲，高壓閥、低壓閥拉出。來電后，先讓機(jī)械泵啟動工作3~5min后，再轉(zhuǎn)入正常生產(chǎn)。

真空鍍膜機(jī)電控柜操作

1. 開水泵、氣源。

2. 開總電源。

3. 開維持泵、真空計電源，真空計檔位置V1位置，等待其值小于10后，再進(jìn)入下一步操作。約需5分鐘。

4. 開機(jī)械泵、預(yù)抽，開渦輪分子泵電源、并啟動，真空計開關(guān)換到V2位置，抽到小于2為止，約需20分鐘。

5. 觀察渦輪分子泵讀數(shù)到達(dá)250以后，關(guān)預(yù)抽，開前級泵和高真空閥繼續(xù)抽真空，抽真空到達(dá)一定程度后才能開右邊的高真空表頭，觀察真空度。真空到達(dá)2×10-3以后才能打開電子槍電源。

真空鍍膜機(jī)DEF-6B操作

1. 總電源。

2. 同時開電子槍控制Ⅰ和電子槍控制Ⅱ電源：按電子槍控制Ⅰ電源、延時開關(guān)，延時、電源及保護(hù)燈亮，三分鐘后延時及保護(hù)燈滅，若后門未關(guān)好或水流繼電器有故障，保護(hù)燈會常亮。

3. 開高壓，高壓會達(dá)到10KV以上，調(diào)節(jié)束流可到200mA左右，簾柵為20V/100mA，燈絲電流1.2A，偏轉(zhuǎn)電流在1~1.7之間擺動。

真空鍍膜機(jī)關(guān)機(jī)順序

1. 關(guān)高真空表頭、關(guān)分子泵。

2. 待分子泵顯示到50時，依次關(guān)高閥、前級、機(jī)械泵，這期間約需40分鐘。

3. 到50以下時，再關(guān)維持泵。