高真空閥

《機(jī)械工程名詞 第五分冊(cè)》第一版。 2100433B

符合高真空技術(shù)要求的，主要在該真空區(qū)域內(nèi)使用的一種真空閥。

1.介質(zhì)為純凈空氣或非腐蝕性氣體。

2.介質(zhì)溫度由使用橡膠的極端溫度所決定。

選用真空閥門(mén)要考慮的因素(依據(jù))

1.根據(jù)工作壓力有低真空閥門(mén)、高真空閥門(mén)和超高真空閥門(mén)。

2.根據(jù)結(jié)構(gòu)特點(diǎn)有擋板閥、插板閥、蝶閥、球閥、隔膜閥、角閥、直通閥、三通閥。

3.根據(jù)傳動(dòng)原理有手動(dòng)、氣動(dòng)、電動(dòng)、電磁。一般氣動(dòng)是電磁先導(dǎo)、氣缸執(zhí)行動(dòng)作的過(guò)程，也可用手控制先導(dǎo)閥氣缸執(zhí)行動(dòng)作的過(guò)程。電動(dòng)為手、電兩用，當(dāng)停電時(shí)可用手動(dòng)進(jìn)行操作。

4.根據(jù)材料有不銹鋼、碳鋼、鋁合金為主體材料的閥門(mén)。

5.根據(jù)動(dòng)密封的材料也可分金屬密封和非金屬密封閥門(mén)。軸封用O形橡膠圈一般真空動(dòng)密封的漏率為10-4Pa.L/S，在軸運(yùn)動(dòng)過(guò)程中真空度不高，可用于要求不高的高真空條件下使用；軸封為金屬波紋管密封，其漏率為10-7Pa.L/S,適用于超高真空條件下使用。

真空鍍膜機(jī)電控柜操作

1. 開(kāi)水泵、氣源。

2. 開(kāi)總電源。

3. 開(kāi)維持泵、真空計(jì)電源，真空計(jì)檔位置V1位置，等待其值小于10后，再進(jìn)入下一步操作。約需5分鐘。

4. 開(kāi)機(jī)械泵、預(yù)抽，開(kāi)渦輪分子泵電源、并啟動(dòng)，真空計(jì)開(kāi)關(guān)換到V2位置，抽到小于2為止，約需20分鐘。

5. 觀察渦輪分子泵讀數(shù)到達(dá)250以后，關(guān)預(yù)抽，開(kāi)前級(jí)泵和高真空閥繼續(xù)抽真空，抽真空到達(dá)一定程度后才能開(kāi)右邊的高真空表頭，觀察真空度。真空到達(dá)2×10-3以后才能打開(kāi)電子槍電源。

真空鍍膜機(jī)DEF-6B操作

1. 總電源。

2. 同時(shí)開(kāi)電子槍控制Ⅰ和電子槍控制Ⅱ電源：按電子槍控制Ⅰ電源、延時(shí)開(kāi)關(guān)，延時(shí)、電源及保護(hù)燈亮，三分鐘后延時(shí)及保護(hù)燈滅，若后門(mén)未關(guān)好或水流繼電器有故障，保護(hù)燈會(huì)常亮。

3. 開(kāi)高壓，高壓會(huì)達(dá)到10KV以上，調(diào)節(jié)束流可到200mA左右，簾柵為20V/100mA，燈絲電流1.2A，偏轉(zhuǎn)電流在1~1.7之間擺動(dòng)。

真空鍍膜機(jī)關(guān)機(jī)順序

1. 關(guān)高真空表頭、關(guān)分子泵。

2. 待分子泵顯示到50時(shí)，依次關(guān)高閥、前級(jí)、機(jī)械泵，這期間約需40分鐘。

3. 到50以下時(shí)，再關(guān)維持泵。

消除系統(tǒng)油蒸氣返流的具體措施：

(1)加大擴(kuò)散泵的啟動(dòng)功率來(lái)縮短機(jī)械泵與擴(kuò)散泵切換時(shí)的壓力過(guò)渡區(qū)。

(2)通過(guò)改變系統(tǒng)操作工藝和用閥門(mén)來(lái)避開(kāi)返流危險(xiǎn)區(qū)(切換過(guò)渡區(qū))。例如，可使一個(gè)按照預(yù)定速度開(kāi)啟的高真空閥，逐漸地開(kāi)啟它，保證進(jìn)入擴(kuò)散泵的氣體流量低于它的最大排氣量，并且又使機(jī)械泵抽速保證擴(kuò)散泵前級(jí)壓力，以使擴(kuò)散泵能樹(shù)立工作。這樣就能避開(kāi)過(guò)渡區(qū)的出現(xiàn)。

(3)改善操作工藝，將擴(kuò)散泵的加熱功率調(diào)至最佳功率，避免出現(xiàn)泵油爆沸現(xiàn)象;一般擴(kuò)散泵在加熱開(kāi)始和關(guān)閉過(guò)程中，返流將出現(xiàn)峰值，所以可用泵口處的高真空閥門(mén)來(lái)控制避免返流。

(4)在擴(kuò)散泵入口處加裝液氫冷阱或吸附阱來(lái)捕集返流油蒸氣。

(5)選用優(yōu)質(zhì)的擴(kuò)散泵工作液。