工業(yè)潔凈室

主要特點是，氣流速度低、流線平行、分布均勻、不擾亂室內(nèi)空氣，因而地面、工作面無粒子飛揚，不易形成局部死角，懸浮狀態(tài)粒子沿著一定流線隨氣流排出室外，可以達(dá)到較高的潔凈等級，是理想的一種氣流組織形式。單向流潔凈室按氣流流向又可分為垂直單向流潔凈室和水平單向流潔凈室。

以高效過濾器作為送風(fēng)口布滿頂棚，地板全部作成回風(fēng)口，使氣流自上而下地流動。在這種潔凈室中，各種工藝操作或塵源被彼此平行的氣流完全隔開，避免了橫向交叉污染。垂直單向流潔凈室的頂棚高效空氣過濾器的滿布率不應(yīng)低于60%，換氣次數(shù)400～500次/h，可達(dá)到100級或比100級更高的潔凈度。

潔凈室主要根據(jù)室內(nèi)潔凈度、氣流形式、控制對象、室內(nèi)凈高和結(jié)構(gòu)特點分類。按室內(nèi)潔凈度分類主要分為1級、10級、100級、10000級、10000級。按氣流形式分類分為單向流、矢流式和亂流式。按控制對象分類分為工業(yè)潔凈室和生物潔凈室。前者以空氣中的懸浮塵埃為控制對象，后者以懸浮生物粒子(微生物)為控制對象。按室內(nèi)高度分類，分為低層潔凈室和高層潔凈室。前者室內(nèi)凈高低于3m，后者超過3m。

室內(nèi)空氣狀態(tài)一般與設(shè)有空調(diào)設(shè)備的室內(nèi)空氣一樣由頂部送風(fēng)，經(jīng)設(shè)置在室內(nèi)適當(dāng)位置的回風(fēng)口排風(fēng)。這種送風(fēng)方式是以稀釋方法達(dá)到凈化目的，即室內(nèi)含塵空氣被潔凈空氣稀釋后，降低了粉塵濃度。亂流潔凈室只要管理得當(dāng)，就能達(dá)到10000級的潔凈度。

一側(cè)壁面滿布高效過濾器，對應(yīng)壁面作為回風(fēng)墻，氣流平行于頂棚和地板。水平單向流潔凈室的氣流流向與塵粒的重力沉降方向不像垂直單向流潔凈室那樣一致，因此水平單向流潔凈室的斷面風(fēng)速應(yīng)大于垂直單向流潔凈室的斷面風(fēng)速，一般不得小于0.35m/s，否則將出現(xiàn)塵埃沉降現(xiàn)象。水平單向流潔凈室回風(fēng)埔ー般安裝中效過濾器。但對于某些特殊用途的潔凈室，知制藥用潔凈室、細(xì)菌培養(yǎng)用潔凈室等，為避免操作過程中產(chǎn)生的特殊微粒和氣溶膠污染管道系統(tǒng)或者為了回收這些微粒進(jìn)行集中處理，則回風(fēng)墻應(yīng)布設(shè)高效空氣過濾器。水平單向流潔凈室的著價低于垂直單向流潔凈室。

單向流潔凈室的氣流流速均勻、流線平行、空氣中的粒子在該氣流中也沿流線運動，不發(fā)生橫向交叉，粒子以最短路徑排除，室內(nèi)不易形成紊流，可提供極高的潔凈環(huán)境。但致命的弱點是，格柵地板或格柵回風(fēng)墻造價高、頂棚或整個墻面滿布高效空氣過濾器成本高、換氣次數(shù)大、運行費用和能耗較高，因此，應(yīng)該開發(fā)具有單向流潔凈室的功能但造價低的潔凈室。

潔凈室的發(fā)展與現(xiàn)代工業(yè)、尖端技術(shù)密切聯(lián)系在一起。由于精密機(jī)械工業(yè)（如陀螺儀、微型軸承等加工）、半導(dǎo)體工業(yè)（如大規(guī)模集成電路生產(chǎn)）等對環(huán)境的要求，促進(jìn)了潔凈室技術(shù)的發(fā)展。國內(nèi)曾統(tǒng)計過，在無潔凈級別的要求的環(huán)境下生產(chǎn)MOS電路管芯的合格率僅10%~15%，64為儲存器僅2%。目前在精密機(jī)械、半導(dǎo)體、宇航、原子能等工業(yè)中應(yīng)用潔凈室已相當(dāng)普遍。

潔凈室按氣流的流動狀態(tài)分

根據(jù)氣流的流動狀態(tài)分，主要有以下三種氣流分布的潔凈室 ：

（1） 非單向流潔凈室：以前常稱為亂流型潔凈室，室內(nèi)的氣流并不都按單一方向流動。非單向流潔凈室有幾個共同的特點：終端過濾器（高效或亞高效）盡量接近潔凈室，它可以就是送風(fēng)口或直接連送風(fēng)口，也可以接到房間的送風(fēng)靜壓箱上；回風(fēng)口均設(shè)在潔凈室的下部，目的是避免出現(xiàn)“揚灰”現(xiàn)象。非單向流潔凈室中都有渦流存在，不適宜用于高潔凈度的潔凈室中，宜用于6~9級的潔凈室中。

（2） 單向流潔凈室：單向流潔凈室氣流的特征是流線平行，以單一方向流動，并且在斷截面上風(fēng)速一致，有垂直單向潔凈室，準(zhǔn)垂直單向流，水平單向流潔凈室等。

（3） 矢量潔凈室：在房間的側(cè)上角送風(fēng)，采用扇形高效過濾器，也可以用普通高效過濾器配扇形送風(fēng)口，在另一側(cè)的下部設(shè)回風(fēng)口，房間的高長比一般在0.5~1之間為宜。這種潔凈室也可以達(dá)到5級（100級）潔凈度。

潔凈室的流型基本上是上述三種類型，但是實際應(yīng)用時可演變出很多形式。潔凈室可以是單向流和非單向流組合在一起的混合流型，以在局部區(qū)域（單向流部分）實現(xiàn)高級別的潔凈室。例如，在潔凈室中設(shè)水平單向流的“隧道”（一側(cè)敞開），潔凈室的其余部分是渦流的單向流流型，從而實現(xiàn)“隧道”部分達(dá)到5級以上潔凈度，工作臺就設(shè)在“隧道內(nèi)”。

潔凈室按受控粒子的性質(zhì)劃分

（1）工業(yè)潔凈室：受控粒子為塵埃等非生物粒子的潔凈室。

（2）生物潔凈室：受控粒子為生物粒子的潔凈室。