微電子生產(chǎn)設(shè)備安裝工程施工及驗(yàn)收規(guī)范圖書目錄

l 總則

2 術(shù)語

3 基本規(guī)定

3.1 施工條件

3.2 施工準(zhǔn)備

3.3 定位放線

3.4 設(shè)置特殊基礎(chǔ)

3.5 壁板開洞

3.6 室外搬運(yùn)

3.7 設(shè)備開箱及吊裝

3.8 室內(nèi)搬運(yùn)

3.9 設(shè)備安裝就位

3.10 二次配管配線

3.11 二次配管壓力試驗(yàn)

4 單機(jī)調(diào)試及試運(yùn)轉(zhuǎn)

5 工程驗(yàn)收

5.1 一般規(guī)定

5.2 交接驗(yàn)收

5.3 竣工驗(yàn)收

5.4 驗(yàn)收不合格處置

附錄A 設(shè)備安裝技術(shù)參數(shù)

附錄B 微電子生產(chǎn)設(shè)備安裝工藝流程

附錄C 人員進(jìn)出潔凈區(qū)流程

附錄D 工程質(zhì)量驗(yàn)收記錄用表

附錄E 典型國產(chǎn)集成電路生產(chǎn)設(shè)備單機(jī)試運(yùn)轉(zhuǎn)及驗(yàn)收范例

本規(guī)范用詞說明

附：條文說明

《微電子生產(chǎn)設(shè)備安裝工程施工及驗(yàn)收規(guī)范》由中國計(jì)劃出版社出版。

本規(guī)范是根據(jù)建設(shè)部“關(guān)于印發(fā)《2005年工程建設(shè)標(biāo)準(zhǔn)規(guī)范制訂、修訂計(jì)劃（第二批）》的通知”（建標(biāo)函124號(hào)）的要求，由中國電子系統(tǒng)工程第二建設(shè)有限公司會(huì)同有關(guān)單位共同編制而成。

本規(guī)范在編制過程中，編制組對(duì)我國6英寸集成電路生產(chǎn)線工藝設(shè)備、8英寸集成電路生產(chǎn)線工藝設(shè)備及部分集成電路工藝設(shè)備生產(chǎn)廠家所生產(chǎn)設(shè)備，就儲(chǔ)存、搬運(yùn)、安裝的要求進(jìn)行了調(diào)研，根據(jù)多年來設(shè)備使用單位、設(shè)備生產(chǎn)單位、設(shè)備安裝單位對(duì)微電子工藝設(shè)備安裝技術(shù)的經(jīng)驗(yàn)積累，借鑒國外當(dāng)前符合我國國情的技術(shù)，在廣泛征求意見的基礎(chǔ)上，進(jìn)行了反復(fù)討論和修改，最后經(jīng)審查定稿。

本規(guī)范共分5章和5個(gè)附錄。主要內(nèi)容包括：總則、術(shù)語、基本規(guī)定、單機(jī)調(diào)試及試運(yùn)轉(zhuǎn)和工程驗(yàn)收等。

本規(guī)范中以黑體字標(biāo)志的條文為強(qiáng)制性條文，必須嚴(yán)格執(zhí)行。

本規(guī)范由住房和城鄉(xiāng)建設(shè)部負(fù)責(zé)管理和對(duì)強(qiáng)制性條文的解釋，由工業(yè)和信息化部負(fù)責(zé)日常管理，由中國電子系統(tǒng)工程第二建設(shè)有限公司負(fù)責(zé)具體技術(shù)內(nèi)容解釋。本規(guī)范在執(zhí)行過程中，請(qǐng)各單位注意總結(jié)經(jīng)驗(yàn)，積累資料，如發(fā)現(xiàn)需要修改或補(bǔ)充之處，請(qǐng)將意見和建議寄送給中國電子系統(tǒng)工程第二建設(shè)有限公司（地址：江蘇省無錫市錢榮路160號(hào)，郵政編碼：214151），以供今后修訂時(shí)參考。2100433B

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2.球形儲(chǔ)罐施工及驗(yàn)收規(guī)范

3.工業(yè)設(shè)備及管道絕熱工程施工及驗(yàn)收規(guī)范

4.架空索道工程技術(shù)規(guī)范

5.立式圓形鋼制焊接油罐施工及驗(yàn)收規(guī)范

6.火災(zāi)自動(dòng)報(bào)警系統(tǒng)施工及驗(yàn)收規(guī)范

7.工業(yè)爐砌筑工程施工及驗(yàn)收規(guī)范

8.工業(yè)金屬管道工程施工及驗(yàn)收規(guī)范

9.現(xiàn)場(chǎng)設(shè)備.工業(yè)管道焊接工程施工及驗(yàn)收規(guī)范

10.采暖與衛(wèi)生工程施工及驗(yàn)收規(guī)范

11.通風(fēng)與空調(diào)工程施工及驗(yàn)收規(guī)范

12.自動(dòng)噴水滅火系統(tǒng)施工及驗(yàn)收規(guī)范

13.氣體滅火系統(tǒng)施工及驗(yàn)收規(guī)范

14.機(jī)械設(shè)備安裝工程施工及驗(yàn)收通用規(guī)范

15.連續(xù)輸送設(shè)備安裝工程施工及驗(yàn)收規(guī)范

16.金屬切削機(jī)床安裝工程施工及驗(yàn)收規(guī)范

17.鍛壓設(shè)備安裝工程施工及驗(yàn)收規(guī)范

18.工業(yè)鍋爐安裝工程施工及驗(yàn)收規(guī)范

19.制冷設(shè)備.空氣分離設(shè)備安裝工程施工及驗(yàn)收規(guī)范

20.壓縮機(jī).風(fēng)機(jī).泵安裝工程施工及驗(yàn)收規(guī)范

21.破碎.粉磨設(shè)備安裝工程施工及驗(yàn)收規(guī)范

22.鑄造設(shè)備安裝工程施工及驗(yàn)收規(guī)范

23.起重設(shè)備安裝工程施工及驗(yàn)收規(guī)范

24.泡沫滅火系統(tǒng)施工及驗(yàn)收規(guī)范

25.建筑與建筑群綜合布線系統(tǒng)工程施工及驗(yàn)收規(guī)范

附錄

附：條文說明

關(guān)于發(fā)布標(biāo)準(zhǔn)《氨制冷系統(tǒng)安裝工程施工及驗(yàn)收規(guī)范》的通知 內(nèi)貿(mào)局發(fā)產(chǎn)字【2000】89號(hào)

與傳統(tǒng)電子技術(shù)相比，微電子技術(shù)具備一定特征，具體表現(xiàn)為以下幾個(gè)方面：

①微電子技術(shù)主要是通過在固體

內(nèi)的微觀電子運(yùn)動(dòng)來實(shí)現(xiàn)信息處理或信息加工。

②微電子

信號(hào)傳遞能夠在極小的尺度下進(jìn)行。

③微電子技術(shù)可將某個(gè)子系統(tǒng)或電子功能部件集成于芯片當(dāng)中，具有較高的集成性，也具有較為全面的功能性。

④微電子技術(shù)可在晶格級(jí)微區(qū)進(jìn)行工作。