本書系統(tǒng)地介紹了微機(jī)電系統(tǒng)的原理、設(shè)計(jì)和分析等知識(shí)，內(nèi)容包括微機(jī)電系統(tǒng)的基本概念、常用材料、工作原理、分析方法、設(shè)計(jì)方法、加工工藝、表面特性、檢測(cè)技術(shù)、主要應(yīng)用以及COMSOL軟件、微機(jī)電系統(tǒng)模塊仿真。

微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)原理、設(shè)計(jì)和分析造價(jià)信息

市場價(jià) 信息價(jià) 詢價(jià)
材料名稱 規(guī)格/型號(hào) 市場價(jià)
（除稅）		 工程建議價(jià)
（除稅）		 行情 品牌 單位 稅率 供應(yīng)商 報(bào)價(jià)日期
PH分析儀 型號(hào):TPH21AC+TPH-S0C10 查看價(jià)格 查看價(jià)格

天健創(chuàng)新

 套 13% 天健創(chuàng)新（北京）監(jiān)測(cè)儀表股份有限公司
總磷分析儀 型號(hào):TEM-TP9000 查看價(jià)格 查看價(jià)格

天健創(chuàng)新

 套 13% 天健創(chuàng)新（北京）監(jiān)測(cè)儀表股份有限公司
SS分析儀 型號(hào):TSS10AC+TSS-S0C10 查看價(jià)格 查看價(jià)格

天健創(chuàng)新

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COD分析儀 型號(hào):TEM-COD9000 查看價(jià)格 查看價(jià)格

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氨氮分析儀 型號(hào):TEM-NH3N9000 查看價(jià)格 查看價(jià)格

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數(shù)據(jù)采集分析系統(tǒng) 品種:數(shù)據(jù)采集分析系統(tǒng);產(chǎn)品說明:規(guī)格定制; 查看價(jià)格 查看價(jià)格

YH

 個(gè) 13% 四川雨禾源綠建科技有限公司
在線余氯PH溫度分析儀 型號(hào):FCL20AC+FCL-S11C10 查看價(jià)格 查看價(jià)格

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微機(jī)五防智能變電系統(tǒng) WJFW-3/A 查看價(jià)格 查看價(jià)格

臺(tái) 13% 南寧安普電力設(shè)備有限公司(玉林市廠商期刊)
材料名稱 規(guī)格/型號(hào) 除稅
信息價(jià)		 含稅
信息價(jià)		 行情 品牌 單位 稅率 地區(qū)/時(shí)間
裝巖機(jī)電動(dòng) 斗容量0.4m3 查看價(jià)格 查看價(jià)格

臺(tái)班 廣州市2011年1季度信息價(jià)
夯實(shí)機(jī)電動(dòng) 夯擊能力20-62kNm 查看價(jià)格 查看價(jià)格

臺(tái)班 汕頭市2011年1季度信息價(jià)
裝巖機(jī)電動(dòng) 斗容量0.4m3 查看價(jià)格 查看價(jià)格

臺(tái)班 廣州市2010年4季度信息價(jià)
裝巖機(jī)電動(dòng) 斗容量0.6m3 查看價(jià)格 查看價(jià)格

臺(tái)班 廣州市2010年4季度信息價(jià)
夯實(shí)機(jī)電動(dòng) 夯擊能力20-62kNm 查看價(jià)格 查看價(jià)格

臺(tái)班 汕頭市2010年4季度信息價(jià)
裝巖機(jī)電動(dòng) 斗容量0.4m3 查看價(jià)格 查看價(jià)格

臺(tái)班 廣州市2010年2季度信息價(jià)
裝巖機(jī)電動(dòng) 斗容量0.2m3 查看價(jià)格 查看價(jià)格

臺(tái)班 廣州市2010年1季度信息價(jià)
裝巖機(jī)電動(dòng) 斗容量0.6m3 查看價(jià)格 查看價(jià)格

臺(tái)班 廣州市2010年1季度信息價(jià)
材料名稱 規(guī)格/需求量 報(bào)價(jià)數(shù) 最新報(bào)價(jià)
（元）		 供應(yīng)商 報(bào)價(jià)地區(qū) 最新報(bào)價(jià)時(shí)間
微機(jī)系統(tǒng)軟件 微機(jī)系統(tǒng)軟件|0套 1 查看價(jià)格 上海玉蒼電子科技有限公司 廣東  深圳市 2010-08-14
微機(jī)顯示系統(tǒng) 微機(jī)顯示系統(tǒng)|1個(gè) 2 查看價(jià)格 深圳市泛海三江電子股份有限公司 全國   2021-12-03
機(jī)械設(shè)計(jì)原理套件 由于字?jǐn)?shù)太多,詳見原檔|15套 1 查看價(jià)格 廣州視睿電子科技有限公司 四川   2019-04-03
統(tǒng)計(jì)分析系統(tǒng) 統(tǒng)計(jì)分析系統(tǒng)|1套 1 查看價(jià)格 北京藍(lán)泰吉科技有限公司 全國   2017-11-10
機(jī)械設(shè)計(jì)原理課程資源軟件 由于字?jǐn)?shù)太多,詳見原檔|1套 1 查看價(jià)格 廣州視睿電子科技有限公司 四川   2019-04-03
系統(tǒng)運(yùn)行分析 1.名稱 :系統(tǒng)運(yùn)行分析2.功能:對(duì)各子系統(tǒng)業(yè)務(wù)狀態(tài)進(jìn)行統(tǒng)計(jì)及對(duì)監(jiān)測(cè)指標(biāo)進(jìn)行分析預(yù)警,包括系統(tǒng)狀態(tài)統(tǒng)計(jì)、統(tǒng)計(jì)狀態(tài)監(jiān)控、系統(tǒng)數(shù)據(jù)監(jiān)控、監(jiān)測(cè)指標(biāo)分析、系統(tǒng)異常狀態(tài)預(yù)警等|1套 1 查看價(jià)格 全國  
微機(jī)監(jiān)控系統(tǒng) 詳設(shè)計(jì)|1系統(tǒng) 3 查看價(jià)格 南京納恩自動(dòng)化科技有限公司 全國   2021-05-18
客流統(tǒng)計(jì)及分析系統(tǒng) B/S架構(gòu),提供多種分析報(bào)表,外圍等分析指標(biāo),提供OA系統(tǒng)集成接口|1套 1 查看價(jià)格 深圳達(dá)實(shí)智能股份有限公司 全國   2021-11-22

本書可供高等學(xué)校機(jī)械、電子、儀器、微電子器件專業(yè)高年級(jí)本科生和研究生使用，也可為相關(guān)工程技術(shù)人員及科技管理人員提供參考。

第1章　微機(jī)電系統(tǒng)概述

1.1　微機(jī)電系統(tǒng)的基本概念

1.2　微機(jī)電系統(tǒng)的研究現(xiàn)狀

1.3　微機(jī)電系統(tǒng)的應(yīng)用

1.4　微機(jī)電系統(tǒng)的特點(diǎn)和研究領(lǐng)域

第2章　微機(jī)電系統(tǒng)常用材料

2.1　硅

2.1.1　單晶硅

2.1.2 晶體結(jié)構(gòu)

2.1.3　彌勒指數(shù)

2.1.4　機(jī)械特性

2.2　硅化合物

2.2.1　多晶硅

2.2.2　氧化硅

2.2.3　碳化硅

2.2.4　氮化硅

2.3　砷化鎵

2.4　陶瓷

2.5　形狀記憶合金

2.6　磁致伸縮材料

2.7　流變體

2.7.1　電流變體

2.7.2　磁流變體

2.7.3　鐵流

第3章　微機(jī)電系統(tǒng)的固體力學(xué)問題

3.1　尺寸效應(yīng)

3.2　梁的力學(xué)問題

3.2.1　應(yīng)變和應(yīng)力

3.2.2　粱的彎曲變形

3.3　膜的力學(xué)問題

3.3.1　薄膜彎曲

3.3.2　周邊固支圓形薄膜彎曲

3.3.3　周邊固支矩形薄膜彎曲

3.4　機(jī)械振動(dòng)

3.4.1　無阻尼自由振動(dòng)

3.4.2　共振

3.4.3　阻尼自由振動(dòng)

3.5　粘附力

3.5.1　粘附力的實(shí)質(zhì)及其研究方法

3.5.2　分子動(dòng)力學(xué)

3.5.3　Hamaker微觀連續(xù)介質(zhì)理論

3.6　機(jī)電系統(tǒng)中的拉格朗日一麥克斯韋方程

3.6.1　電路方程

3.6.2　有質(zhì)動(dòng)力

3.6.3　拉格朗日一麥克斯韋方程

第4章　微機(jī)電系統(tǒng)加工技術(shù)基礎(chǔ)

4.1　微電子加工工藝

4.1.1　光刻

4.1.2　淀積

4.1.3　腐蝕

4.1.4　鍵合

4.1.5　外延

4.1.6　體硅加工

4.1.7　表面加工

4.1.8　LIGA技術(shù)

4.1.9　準(zhǔn)分子激光工藝

4.1.10　分子操縱技術(shù)

4.1.11　封裝

4.2　精密加工和特種加工

4.2.1　精密加工

4.2.2　特種加工

第5章　微機(jī)電系統(tǒng)工作原理

5.1　微傳感器

5.1.1　壓阻傳感器

5.1.2　電容傳感器

5.1.3　壓電傳感器

5.1.4　諧振傳感器

5.1.5　隧道傳感器

5.1.6　熱傳感器

5.1.7　光傳感器

5.1.8　化學(xué)傳感器

5.2　微加速度計(jì)和微陀螺儀

5.2.1　線微加速度計(jì)

5.2.2　差動(dòng)電容微加速度計(jì)

5.2.3　蹺蹺板式微加速度計(jì)

5.2.4　三明治式微加速度計(jì)

5.2.5　梳齒式微加速度計(jì)

5.2.6　微加速度計(jì)的研究方向

5.2.7　微陀螺傳感器

……

第6章　微機(jī)電系統(tǒng)表面特性

第7章　微機(jī)電系統(tǒng)檢測(cè)技術(shù)

第8章　微機(jī)電系統(tǒng)應(yīng)用

第9章　COMSOL微件及微機(jī)電系統(tǒng)模塊仿真

參考文獻(xiàn)

微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)原理、設(shè)計(jì)和分析內(nèi)容簡介常見問題

  • 電力系統(tǒng)繼電保護(hù)原理的內(nèi)容簡介

    本書為普通高等教育“十一五”國家級(jí)規(guī)劃教材。本書著重闡明電力系統(tǒng)繼電保護(hù)的基本原理、分析方法和應(yīng)用技術(shù)。第一章緒論。第二章闡述作為繼電保護(hù)硬件系統(tǒng)的幾種主要繼電器的作用原理、分析方法和整定原則。第三～...

  • 機(jī)電專業(yè)英語的內(nèi)容簡介

    《機(jī)電專業(yè)英語(高職)》精選了36篇機(jī)電一體化技術(shù)方面的英語文章，全面、系統(tǒng)地展示了與機(jī)電相關(guān)的各類信息，介紹了機(jī)電技術(shù)領(lǐng)域的最新技術(shù)和知識(shí)，對(duì)機(jī)電一體化技術(shù)專業(yè)英語中的高頻詞匯和語法做了詳細(xì)的分析和...

  • 機(jī)電傳動(dòng)控制的內(nèi)容簡介

    全書共分13章，內(nèi)容包括：緒論、機(jī)電傳動(dòng)系統(tǒng)的動(dòng)力學(xué)、直流電機(jī)、變壓器、交流電機(jī)、機(jī)電傳動(dòng)系統(tǒng)的過渡過程、控制電機(jī)等。

田文超，男，1968年出生，博士后，副教授，現(xiàn)在西安電子科技大學(xué)機(jī)電工程學(xué)院從事教學(xué)與科研工作。主要研究方向?yàn)槲鞲衅骱臀?zhí)行器設(shè)計(jì)仿真、MEMS表面和界面分析以及電子封裝技術(shù)。先后主持或參與10項(xiàng)國家及省部級(jí)項(xiàng)目，發(fā)表學(xué)術(shù)論文55篇，其中23篇被三大檢索（SCl、El和ISTP）收錄?！∮浾邔?duì)象：本科生、研究生、相關(guān)工程技術(shù)人員及科技管理人員參考使用。2100433B

微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)原理、設(shè)計(jì)和分析內(nèi)容簡介文獻(xiàn)

微機(jī)電系統(tǒng)MEMS仿真與建模研究 微機(jī)電系統(tǒng)MEMS仿真與建模研究

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微機(jī)電系統(tǒng)是源于微電子加工技術(shù)，融合了微機(jī)械制造、傳感、致動(dòng)及微控制于一體的系統(tǒng)。微機(jī)電系統(tǒng)融合了力、電、流體、光、磁、熱等多個(gè)物理域，建模與仿真技術(shù)的迅速發(fā)展，討論了目前有關(guān)微機(jī)電系統(tǒng)建模與仿真的基本理論和方法。

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微機(jī)電系統(tǒng)MEMS的干涉測(cè)量方法的研究進(jìn)展 微機(jī)電系統(tǒng)MEMS的干涉測(cè)量方法的研究進(jìn)展

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微機(jī)電系統(tǒng)MEMS的干涉測(cè)量方法的研究進(jìn)展

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2020年3月6日，《微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)技術(shù)―MEMS結(jié)構(gòu)共振疲勞試驗(yàn)方法》發(fā)布。

2020年7月1日，《微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)技術(shù)―MEMS結(jié)構(gòu)共振疲勞試驗(yàn)方法》實(shí)施。

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2020年3月6日，《微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)技術(shù)—MEMS結(jié)構(gòu)共振疲勞試驗(yàn)方法》發(fā)布。

2020年7月1日，《微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)技術(shù)—MEMS結(jié)構(gòu)共振疲勞試驗(yàn)方法》實(shí)施。

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微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）設(shè)計(jì)和原型設(shè)計(jì)指南 無論你是正在學(xué)習(xí)初級(jí)MEMS課程的學(xué)生，還是想要在MEMS設(shè)計(jì)上進(jìn)步飛速的設(shè)計(jì)師，這些實(shí)用指導(dǎo)都可以提供開展MEMS器件設(shè)計(jì)、制造和測(cè)試所需要的實(shí)操經(jīng)驗(yàn)。你可以了解到如何使用代工廠多工程制造工藝進(jìn)行低成本MEMS工程設(shè)計(jì)，以及如何使用計(jì)算機(jī)輔助設(shè)計(jì)工具（布局、建模）進(jìn)行MEMS器件的設(shè)計(jì)。

在本書中描述和分析了大量的設(shè)計(jì)案例，涉及領(lǐng)域包括微觀力學(xué)、電磁學(xué)、光學(xué)、熱學(xué)和流體學(xué)等。其中有一章專門介紹MEMS器件的封裝和測(cè)試；此外，在本書每章的最后，都描述了 MEMS設(shè)計(jì)的實(shí)踐和挑戰(zhàn)，并提供了相關(guān)的解決方案。 Joel A. Kubby是加州大學(xué)圣克魯茲分校巴斯金工程學(xué)院的電子工程教授。此前，他曾經(jīng)是施樂威爾遜研發(fā)中心的區(qū)域經(jīng)理，也是紐約韋伯斯特的技術(shù)人員之一。他曾經(jīng)帶領(lǐng)一個(gè)由6 個(gè)企業(yè)聯(lián)合而成的工業(yè)研究組織進(jìn)行光學(xué)MEMS的新工藝開發(fā)，該項(xiàng)目屬于國家標(biāo)準(zhǔn)和技術(shù)研究所的高端技術(shù)計(jì)劃（ATP），Joel A. Kubby本人擁有超過80項(xiàng)專利。

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