微電子生產(chǎn)設備安裝工程施工及驗收規(guī)范

《微電子生產(chǎn)設備安裝工程施工及驗收規(guī)范》共分5章和5個附錄。主要內(nèi)容包括：總則、術語、基本規(guī)定、單機調(diào)試及試運轉和工程驗收等。《微電子生產(chǎn)設備安裝工程施工及驗收規(guī)范》中以黑體字標志的條文為強制性條文，必須嚴格執(zhí)行?！段㈦娮由a(chǎn)設備安裝工程施工及驗收規(guī)范》由住房和城鄉(xiāng)建設部負責管理和對強制性條文的解釋，由工業(yè)和信息化部負責日常管理，由中國電子系統(tǒng)工程第二建設有限公司負責具體技術內(nèi)容解釋。

微電子生產(chǎn)設備安裝工程施工及驗收規(guī)范基本信息

中文名 微電子生產(chǎn)設備安裝工程施工及驗收規(guī)范 外文名 Code for Construction and acceptance of microelectronic production equipment installation engineering
出版社 中國計劃出版社 頁????數(shù) 63 頁
開????本 32 開 品????牌 中國計劃出版社
作????者 中華人民共和國工業(yè)和信息化部 出版日期 2009年5月1日
語????種 簡體中文 ISBN 1580177167

l 總則

2 術語

3 基本規(guī)定

3.1 施工條件

3.2 施工準備

3.3 定位放線

3.4 設置特殊基礎

3.5 壁板開洞

3.6 室外搬運

3.7 設備開箱及吊裝

3.8 室內(nèi)搬運

3.9 設備安裝就位

3.10 二次配管配線

3.11 二次配管壓力試驗

4 單機調(diào)試及試運轉

5 工程驗收

5.1 一般規(guī)定

5.2 交接驗收

5.3 竣工驗收

5.4 驗收不合格處置

附錄A 設備安裝技術參數(shù)

附錄B 微電子生產(chǎn)設備安裝工藝流程

附錄C 人員進出潔凈區(qū)流程

附錄D 工程質(zhì)量驗收記錄用表

附錄E 典型國產(chǎn)集成電路生產(chǎn)設備單機試運轉及驗收范例

本規(guī)范用詞說明

附：條文說明

微電子生產(chǎn)設備安裝工程施工及驗收規(guī)范造價信息

市場價 信息價 詢價
材料名稱 規(guī)格/型號 市場價
（除稅）		 工程建議價
（除稅）		 行情 品牌 單位 稅率 供應商 報價日期
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 臺 0% 深圳市東微智能科技股份有限公司
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廣西巨龍管業(yè)

 m 0% 廣西巨龍管業(yè)有限公司
材料名稱 規(guī)格/型號 除稅
信息價		 含稅
信息價		 行情 品牌 單位 稅率 地區(qū)/時間
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材料名稱 規(guī)格/需求量 報價數(shù) 最新報價
（元）		 供應商 報價地區(qū) 最新報價時間
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本規(guī)范是根據(jù)建設部“關于印發(fā)《2005年工程建設標準規(guī)范制訂、修訂計劃（第二批）》的通知”（建標函124號）的要求，由中國電子系統(tǒng)工程第二建設有限公司會同有關單位共同編制而成。

本規(guī)范在編制過程中，編制組對我國6英寸集成電路生產(chǎn)線工藝設備、8英寸集成電路生產(chǎn)線工藝設備及部分集成電路工藝設備生產(chǎn)廠家所生產(chǎn)設備，就儲存、搬運、安裝的要求進行了調(diào)研，根據(jù)多年來設備使用單位、設備生產(chǎn)單位、設備安裝單位對微電子工藝設備安裝技術的經(jīng)驗積累，借鑒國外當前符合我國國情的技術，在廣泛征求意見的基礎上，進行了反復討論和修改，最后經(jīng)審查定稿。

本規(guī)范共分5章和5個附錄。主要內(nèi)容包括：總則、術語、基本規(guī)定、單機調(diào)試及試運轉和工程驗收等。

本規(guī)范中以黑體字標志的條文為強制性條文，必須嚴格執(zhí)行。

本規(guī)范由住房和城鄉(xiāng)建設部負責管理和對強制性條文的解釋，由工業(yè)和信息化部負責日常管理，由中國電子系統(tǒng)工程第二建設有限公司負責具體技術內(nèi)容解釋。本規(guī)范在執(zhí)行過程中，請各單位注意總結經(jīng)驗，積累資料，如發(fā)現(xiàn)需要修改或補充之處，請將意見和建議寄送給中國電子系統(tǒng)工程第二建設有限公司（地址：江蘇省無錫市錢榮路160號，郵政編碼：214151），以供今后修訂時參考。2100433B

《微電子生產(chǎn)設備安裝工程施工及驗收規(guī)范》由中國計劃出版社出版。

微電子生產(chǎn)設備安裝工程施工及驗收規(guī)范常見問題

微電子生產(chǎn)設備安裝工程施工及驗收規(guī)范文獻

關于發(fā)布國家標準《微電子生產(chǎn)設備安裝工程施工及驗收規(guī)范》的公告 關于發(fā)布國家標準《微電子生產(chǎn)設備安裝工程施工及驗收規(guī)范》的公告

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大?。?span id="fkf88nz" class="single-tag-height">39KB

頁數(shù)： 1頁

評分： 4.5

現(xiàn)批準《微電子生產(chǎn)設備安裝工程施工及驗收規(guī)范》為國家標準，編號為GB50467—2008，自2009年7月1日起實施。其中，第3．10．15、3．10．16、3．10．17、3．10．18、3．11．1、3．11．4、3．11．10、5．4．2條為強制性條文，必須嚴格執(zhí)行。本規(guī)范由我部標準定額研究所組織中國計劃出版社出版發(fā)行。

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機械設備安裝工程施工及驗收規(guī)范 (2) 機械設備安裝工程施工及驗收規(guī)范 (2)

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大?。?span id="mfdvcxc" class="single-tag-height">39KB

頁數(shù)： 43頁

評分： 4.4

機械設備安裝工程施工及驗收規(guī)范 TJ231 第五冊壓縮機、風機、泵、空氣分離設備安裝 目 錄 ? 第一篇 壓縮機安裝 ? 第一章 一般規(guī)定 ? 第二章 整體安裝的壓縮機 ? 第三章 現(xiàn)場組裝的往復活塞式壓縮機 ? 第四章 附屬設備 ? 第五章 試運轉 ? 第六章 無潤滑壓縮機 ? 第七章 現(xiàn)場組裝的螺桿式壓縮機 ? 第二篇 風機安裝 ? 第一章 一般規(guī)定 ? 第二章 離心通風機 ? 第三章 軸流通風機 ? 第四章 羅茨式和葉氏式鼓風機 ? 第五章 離心鼓風機和壓縮機 ? 第六章 試運轉 ? 第三篇 泵安裝 ? 第一章 一般規(guī)定 ? 第二章 離心泵 ? 第三章 深井泵 ? 第四章 中、小型軸流泵 ? 第五章 往復泵 ? 第六章 三螺桿泵 ? 第七章 水環(huán)式真空泵 ? 第八章 旋渦泵和中、小型混流泵 ? 第四篇 空氣分離設備安裝 ? 第一章 一般規(guī)定 ? 第二章 整體安裝的分餾塔 ? 第三章

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附錄

附：條文說明

2100433B

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關于發(fā)布標準《氨制冷系統(tǒng)安裝工程施工及驗收規(guī)范》的通知 內(nèi)貿(mào)局發(fā)產(chǎn)字【2000】89號

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與傳統(tǒng)電子技術相比，微電子技術具備一定特征，具體表現(xiàn)為以下幾個方面：

①微電子技術主要是通過在固體

內(nèi)的微觀電子運動來實現(xiàn)信息處理或信息加工。

②微電子

信號傳遞能夠在極小的尺度下進行。

③微電子技術可將某個子系統(tǒng)或電子功能部件集成于芯片當中，具有較高的集成性，也具有較為全面的功能性。

④微電子技術可在晶格級微區(qū)進行工作。

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