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〖 干式泵常識(shí) 〗 Q：什么是渦旋干式真空泵？ A：不用油類或者液體密封的變?nèi)菡婵毡谩?Q：渦旋干式真空泵的特點(diǎn)？ A：◇無油、無污染 ◇低噪音、低振動(dòng) ◇使用壽命長 ◇空氣冷卻 ◇配氣鎮(zhèn)閥、可抽可凝性氣體 Q：渦旋干式真空泵的主要用途？ A：◇半導(dǎo)體制備設(shè)備與處理室抽真空泵； ◇用于液晶注入系統(tǒng)； ◇分子泵真空系統(tǒng)的前級(jí)泵； ◇真空密封泵； ◇冷泵前級(jí)； ◇用于科學(xué)和化學(xué)分析儀器； ◇真空發(fā)生器； ◇電子顯微鏡前級(jí)泵。 Q：渦旋干式真空泵的主要技術(shù)指標(biāo)？ A： 項(xiàng) 目 指 標(biāo) 型號(hào) DVS-631( 雙側(cè)渦旋型無油真空泵 ) 抽氣速率 525 L/min (8.75 L/s) 50Hz, 630 L/min (10 L/s) 60Hz. 極限真空度 ≤1Pa( 氣鎮(zhèn)閥關(guān)閉 )，≤2.5Pa( 氣鎮(zhèn)閥開啟 )。 噪音 ≤58dB(50Hz,), ≤60dB(60Hz,) ( 氣鎮(zhèn)閥關(guān)閉
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