蓋德高速金屬擴(kuò)散泵

蓋德高速金屬擴(kuò)散泵，原理是利用超低溫時(shí)的凝結(jié)和吸附來(lái)排氣。

簡(jiǎn)介

蓋德于1915年制成擴(kuò)散泵，1916年經(jīng)I.朗繆爾改進(jìn)，應(yīng)用擴(kuò)散泵能獲得10□帕的真空。擴(kuò)散泵最初用汞,爾后用油作泵液,但油擴(kuò)散泵的油蒸氣反向流入被抽器件,會(huì)造成表面油污染。為此，真空系統(tǒng)常用一種無(wú)油的濺散離子泵。1937年F.M.潘寧觀察到用磁場(chǎng)局限的直流放電具有抽氣效應(yīng)；但到1958年，L.D.霍耳才將幾個(gè)潘寧室組合成實(shí)用的離子泵。

這是一項(xiàng)日趨重要的技術(shù)，其原理是利用超低溫時(shí)的凝結(jié)和吸附來(lái)排氣，其特點(diǎn)是排氣表面位于排氣室中,抽速不受排氣管的限制,抽速要求越大越能顯示低溫泵的優(yōu)點(diǎn)。低溫泵很容易得到1000米□/秒的抽速。1961年美國(guó)的R.金等人提出一種實(shí)用的低溫排氣系統(tǒng)。

應(yīng)用電子碰撞氣體產(chǎn)生離子流，用離子流來(lái)量測(cè)真空度，是高真空測(cè)量的基本原理。1916年，O.E.布克來(lái)研制出能測(cè)10□帕真空度的電離真空規(guī)。1947年,W.B.諾丁漢指出上限是由于X射線產(chǎn)生的光電子。1950年，R.T.貝亞得及D.阿爾波特將收集極的圓筒改為細(xì)線，以減少截獲X射線而能測(cè)到10□帕?！≌婵针娮硬牧霞肮に?從愛(ài)迪生發(fā)現(xiàn)熱電子源后，需要有在高真空中耐高溫工作的材料。1903年A.威耐爾特發(fā)現(xiàn)堿土金屬的氧化物,能在1100K下有顯著的發(fā)射電子能力,并于1906年用氧化物陰極裝入整流管內(nèi)。1909年，W.D.庫(kù)利吉用粉末冶金法制取純鎢絲陰極,但需2300K高溫才能發(fā)射電子。1934年，朗繆爾研制釷鎢絲（鎢中摻入0.5%～2%的釷）陰極,可將陰極溫度降至2000K左右。由于陰極在高溫工作時(shí)表面有蒸發(fā)及濺散損失，為了彌補(bǔ)這種損失，1950年 H.J.萊門斯等提出儲(chǔ)存式的L陰極，其結(jié)構(gòu)是發(fā)射面為多孔的鎢表面。鎢表面下有鋇鍶碳酸物的儲(chǔ)存。